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論文 TSV

2021
  1. Toshihide Nabatame, Erika Maeda, Mari Inoue, Masafumi Hirose, Yoshihiro Irokawa, Akihiko Ohi, Naoki Ikeda, Takashi Onaya, Koji Shiozaki, Ryota Ochi, Tamotsu Hashizume, Yasuo Koide. Influence of HfO2 and SiO2 interfacial layers on the characteristics of n-GaN/HfSiOx capacitors using plasma-enhanced atomic layer deposition. Journal of Vacuum Science & Technology A. 39 [6] (2021) 062405 10.1116/6.0001334
  2. Shinji Saito, Rei Hashimoto, Kei Kaneko, Tsutomu Kakuno, Yuanzhao Yao, Naoki Ikeda, Yoshimasa Sugimoto, Takaaki Mano, Takashi Kuroda, Hirotaka Tanimura, Shigeyuki Takagi, Kazuaki Sakoda. Design and fabrication of photonic crystal resonators for single-mode and vertical surface emission from strain-compensated quantum cascade lasers operating at 4.32 μm. Applied Physics Express. 14 [10] (2021) 102003 10.35848/1882-0786/ac2240
  3. Siti Chalimah, Yuanzhao Yao, Naoki Ikeda, Yoshimasa Sugimoto, Takaaki Mano, Takashi Kuroda, Kazuaki Sakoda. Eigenmode symmetry assignment of triangular-lattice photonic crystal slabs and their Dirac cones materialized by effective degeneracy in the mid-infrared region. Optics Express. 29 [13] (2021) 19486 10.1364/oe.428434
  4. Siti Chalimah, Yuanzhao Yao, Naoki Ikeda, Kei Kaneko, Rei Hashimoto, Tsutomu Kakuno, Shinji Saito, Takashi Kuroda, Yoshimasa Sugimoto, Kazuaki Sakoda. Midinfrared Dispersion Relations in InP -Based Photonic Crystal Slabs Revealed by Fourier-Transform Angle-Resolved Reflection Spectroscopy. Physical Review Applied. 15 [6] (2021) 10.1103/physrevapplied.15.064076
  5. Riku Kobayashi, Toshihide Nabatame, Takashi Onaya, Akihiko Ohi, Naoki Ikeda, Takahiro Nagata, Kazuhito Tsukagoshi, Atsushi Ogura. Influence of adsorbed oxygen concentration on characteristics of carbon-doped indium oxide thin-film transistors under bias stress. Japanese Journal of Applied Physics. 60 [SC] (2021) SCCM01 10.35848/1347-4065/abe685
  6. Takashi Kuroda, Siti Chalimah, Yuanzhao Yao, Naoki Ikeda, Yoshimasa Sugimoto, Kazuaki Sakoda. Apparatus for High-Precision Angle-Resolved Reflection Spectroscopy in the Mid-Infrared Region. Applied Spectroscopy. 75 [3] (2021) 259-264 10.1177/0003702820931520
  7. Riku Kobayashi, Toshihide Nabatame, Takashi Onaya, Akihiko Ohi, Naoki Ikeda, Takahiro Nagata, Kazuhito Tsukagoshi, Atsushi Ogura. Comparison of characteristics of thin-film transistor with In2O3 and carbon-doped In2O3 channels by atomic layer deposition and post-metallization annealing in O3. Japanese Journal of Applied Physics. 60 [3] (2021) 030903 10.35848/1347-4065/abde54
  8. Masafumi Hirose, Toshihide Nabatame, Yoshihiro Irokawa, Erika Maeda, Akihiko Ohi, Naoki Ikeda, Liwen Sang, Yasuo Koide, Hajime Kiyono. Interface characteristics of β-Ga2O3/Al2O3/Pt capacitors after postmetallization annealing. Journal of Vacuum Science & Technology A. 39 [1] (2021) 012401 10.1116/6.0000626
2020
  1. Yuanzhao Yao, Takashi Kuroda, Naoki Ikeda, Takaaki Mano, Hiromi Koyama, Yoshimasa Sugimoto, Kazuaki Sakoda. Angle-resolved reflection spectra of Dirac cones in triangular-lattice photonic crystal slabs. Optics Express. 28 [15] (2020) 21601 10.1364/oe.397642
  2. Erika Maeda, Toshihide Nabatame, Masafumi Hirose, Mari Inoue, Akihiko Ohi, Naoki Ikeda, Hajime Kiyono. Correlation between SiO2 growth rate and difference in electronegativity of metal–oxide underlayers for plasma enhanced atomic layer deposition using tris(dimethylamino)silane precursor. Journal of Vacuum Science & Technology A. 38 [3] (2020) 032409 10.1116/6.0000078
  3. Ruoxi Wang, Michio Ikezawa, Yoshiki Sakuma, Hiroyuki Takeda, Naoki Ikeda, Yoshimasa Sugimoto, Kazuaki Sakoda, Yuuta Yamada, Yasuaki Masumoto. Enhanced Spontaneous Emission Rates for Single Isoelectronic Luminescence Centers in Photonic Crystal Cavities. ACS Photonics. 7 [2] (2020) 321-326
  4. Ruoxi Wang, Michio Ikezawa, Yoshiki Sakuma, Hiroyuki Takeda, Naoki Ikeda, Yoshimasa Sugimoto, Kazuaki Sakoda, Yuuta Yamada, Yasuaki Masumoto. Enhanced Spontaneous Emission Rates for Single Isoelectronic Luminescence Centers in Photonic Crystal Cavities. ACS Photonics. 7 [2] (2020) 321-326 10.1021/acsphotonics.9b00616
  5. Yuanzhao Yao, Naoki Ikeda, Takashi Kuroda, Takaaki Mano, Hiromi Koyama, Yoshimasa Sugimoto, Kazuaki Sakoda. Mid-IR Dirac-cone dispersion relation materialized in SOI photonic crystal slabs. Optics Express. 28 [3] (2020) 4194 10.1364/oe.381996
  6. Hai Dang Ngo, Kai Chen, Ørjan S. Handegård, Anh Tung Doan, Thien Duc Ngo, Thang Duy Dao, Naoki Ikeda, Akihiko Ohi, Toshihide Nabatame, Tadaaki Nagao. Nanoantenna Structure with Mid-Infrared Plasmonic Niobium-Doped Titanium Oxide. Micromachines. 11 [1] (2020) 23 10.3390/mi11010023
2019
  1. Yoshihiro Irokawa, Toshihide Nabatame, Akihiko Ohi, Naoki Ikeda, Osami Sakata, Yasuo Koide. Hydrogen effect on Pt/Al2O3/GaN metal-oxide-semiconductor capacitors. Japanese Journal of Applied Physics. 58 [10] (2019) 100915 10.7567/1347-4065/ab476a
  2. Yoshihiro Irokawa, Toshihide Nabatame, Kazuya Yuge, Akira Uedono, Akihiko Ohi, Naoki Ikeda, Yasuo Koide. Investigation of Al2O3/GaN interface properties by sub-bandgap photo-assisted capacitance-voltage technique. AIP Advances. 9 [8] (2019) 085319 10.1063/1.5098489
  3. Masafumi Hirose, Toshihide Nabatame, Kazuya Yuge, Erika Maeda, Akihiko Ohi, Naoki Ikeda, Yoshihiro Irokawa, Hideo Iwai, Hideyuki Yasufuku, Satoshi Kawada, Makoto Takahashi, Kazuhiro Ito, Yasuo Koide, Hajime Kiyono. Influence of post-deposition annealing on characteristics of Pt/Al2O3/β-Ga2O3 MOS capacitors. Microelectronic Engineering. 216 (2019) 111040 10.1016/j.mee.2019.111040
  4. Erika Maeda, Toshihide Nabatame, Kazuya Yuge, Masafumi Hirose, Mari Inoue, Akihiko Ohi, Naoki Ikeda, Koji Shiozaki, Hajime Kiyono. Change of characteristics of n-GaN MOS capacitors with Hf-rich HfSiOx gate dielectrics by post-deposition annealing. Microelectronic Engineering. 216 (2019) 111036 10.1016/j.mee.2019.111036
  5. Riku Kobayashi, Toshihide Nabatame, Kazunori Kurishima, Takashi Onaya, Akihiko Ohi, Naoki Ikeda, Takahiro Nagata, Kazuhito Tsukagoshi, Atsushi Ogura. Characteristics of Oxide TFT Using Carbon-Doped Ιn2O3 Thin Film Fabricated by Low-Temperature ALD Using Ethylcyclopentadienyl Indium (Ιn-EtCp) and H2O & O3. ECS Transactions. 92 [3] (2019) 3-13 10.1149/09203.0003ecst
  6. Takashi Onaya, Toshihide Nabatame, Naomi Sawamoto, Akihiko Ohi, Naoki Ikeda, Takahiro Nagata, Atsushi Ogura. Ferroelectricity of HfxZr1−xO2 thin films fabricated by 300 °C low temperature process with plasma-enhanced atomic layer deposition. Microelectronic Engineering. 215 (2019) 111013 10.1016/j.mee.2019.111013
  7. Takashi Onaya, Toshihide Nabatame, Naomi Sawamoto, Akihiko Ohi, Naoki Ikeda, Takahiro Nagata, Atsushi Ogura. Improvement in ferroelectricity of HfxZr1−xO2 thin films using top- and bottom-ZrO2 nucleation layers. APL Materials. 7 [6] (2019) 061107 10.1063/1.5096626
  8. Kazuya Yuge, Toshihide Nabatame, Yoshihiro Irokawa, Akihiko Ohi, Naoki Ikeda, Liwen Sang, Yasuo Koide, Tomoji Ohishi. Characteristics of Al2O3/native oxide/n-GaN capacitors by post-metallization annealing. Semiconductor Science and Technology. 34 [3] (2019) 034001 10.1088/1361-6641/aafdbd
  9. Toshihide Nabatame, Erika Maeda, Mari Inoue, Kazuya Yuge, Masafumi Hirose, Koji Shiozaki, Naoki Ikeda, Tomoji Ohishi, Akihiko Ohi. Hafnium silicate gate dielectrics in GaN metal oxide semiconductor capacitors. Applied Physics Express. 12 [1] (2019) 011009 10.7567/1882-0786/aaf62a
2016
  1. Tsuyoshi Nishi, Nobuhiko Ozaki, Yoichi Oikawa, Kunio Miyaji, Hirotaka Ohsato, Eiichiro Watanabe, Naoki Ikeda, Yoshimasa Sugimoto. High-resolution and nondestructive profile measurement by spectral-domain optical coherence tomography with a visible broadband light source for optical-device fabrication. Japanese Journal of Applied Physics. 55 [8S3] (2016) 08RE05 10.7567/jjap.55.08re05
  2. H. Oda, A. Yamanaka, N. Ozaki, N. Ikeda, Y. Sugimoto. Operation of an InAs quantum-dot embedded GaAs photonic crystal slab waveguide laser by using two-photon pumping for photonics integrated circuits. AIP Advances. 6 [6] (2016) 065215 10.1063/1.4954397
  3. Daisuke INOUE, Atsushi MIURA, Tsuyoshi NOMURA, Hisayoshi FUJIKAWA, Kazuo SATO, Naoki IKEDA, Daiju TSUYA, Yoshimasa SUGIMOTO, Yasuo KOIDE. Optical Filters Based on Nano-Sized Hole and Slit Patterns in Aluminum Films. IEICE Transactions on Electronics. E99.C [3] (2016) 358-364 10.1587/transele.e99.c.358
  4. Takuma YASUDA, Nobuhiko OZAKI, Hiroshi SHIBATA, Shunsuke OHKOUCHI, Naoki IKEDA, Hirotaka OHSATO, Eiichiro WATANABE, Yoshimasa SUGIMOTO, Richard A. HOGG. Electrically Driven Near-Infrared Broadband Light Source with Gaussian-Like Spectral Shape Based on Multiple InAs Quantum Dots. IEICE Transactions on Electronics. E99.C [3] (2016) 381-384 10.1587/transele.e99.c.381
  5. Nobuhiko Ozaki, David T. D. Childs, Jayanta Sarma, Timothy S. Roberts, Takuma Yasuda, Hiroshi Shibata, Hirotaka Ohsato, Eiichiro Watanabe, Naoki Ikeda, Yoshimasa Sugimoto, Richard A. Hogg. Superluminescent diode with a broadband gain based on self-assembled InAs quantum dots and segmented contacts for an optical coherence tomography light source. Journal of Applied Physics. 119 [8] (2016) 083107 10.1063/1.4942640
2015
  1. Y. Nishimura, T. Kawano, Y. Kunichika, K. Kasahara, T. Yaji, N. Ikeda, H. Oosato, H. Miyazaki, Y. Sugimoto. Observation of the enhancement of electric fields normal to the surface using mid-infrared slot antennas and an atomic layer deposition technique. Optics Communications. 349 (2015) 98-104 10.1016/j.optcom.2015.03.063
  2. Hiroki Tokushige, Takashi Endo, Keita Hiidome, Kenta Saiki, Shigehiro Kitamura, Toshio Katsuyama, Naoki Ikeda, Yoshimasa Sugimoto, Yoshihito Maeda. Photonic crystals composed of β-FeSi2with amorphous Si cladding layers. Japanese Journal of Applied Physics. 54 [7S2] (2015) 07JB03 10.7567/jjap.54.07jb03
  3. Hiroshi Shibata, Nobuhiko Ozaki, Takuma Yasuda, Shunsuke Ohkouchi, Naoki Ikeda, Hirotaka Ohsato, Eiichiro Watanabe, Yoshimasa Sugimoto, Kenji Furuki, Kunio Miyaji, Richard A. Hogg. Imaging of spectral-domain optical coherence tomography using a superluminescent diode based on InAs quantum dots emitting broadband spectrum with Gaussian-like shape. Japanese Journal of Applied Physics. 54 [4S] (2015) 04DG07 10.7567/jjap.54.04dg07
2014
  1. H. Tokushige, T. Endo, K. Saiki, K. Hiidome, S. Kitamura, T. Katsuyama, M. Tokuda, H. Takagi, M. Morita, Y. Ito, K. Tsutsui, Y. Wada, N. Ikeda, Y. Sugimoto. Amorphous Si waveguides with high-quality stacked gratings for multi-layer Si optical circuits. Photonics and Nanostructures - Fundamentals and Applications. 12 [5] (2014) 501-507 10.1016/j.photonics.2014.08.003
  2. Takayuki Matsui, Atsushi Miura, Naoki Ikeda, Hisayoshi Fujikawa, Yoshimasa Sugimoto, Nader Engheta, Hideo Iizuka. Experimental investigation of double-groove grating satisfying total internal reflection condition. Optics Express. 22 [21] (2014) 25362 10.1364/oe.22.025362
  3. Nobuhiko Ozaki, Takuma Yasuda, Shunsuke Ohkouchi, Eiichiro Watanabe, Naoki Ikeda, Yoshimasa Sugimoto, Richard A. Hogg. Near-infrared superluminescent diode using stacked self-assembled InAs quantum dots with controlled emission wavelengths. Japanese Journal of Applied Physics. 53 [4S] (2014) 04EG10 10.7567/jjap.53.04eg10
  4. Takayuki Matsui, Hiroyuki Yoshida, Atsushi Miura, Junji Kobashi, Naoki Ikeda, Yoshimasa Sugimoto, Masanori Ozaki. Tunable enhanced 0th-order transmission in a metal–dielectric hole array covered with a subwavelength liquid crystal layer. Optics Letters. 39 [5] (2014) 1262 10.1364/ol.39.001262
  5. Nobuhiko Ozaki, Koichi Takeuchi, Yuji Hino, Yohei Nakatani, Takuma Yasuda, Shunsuke Ohkouchi, Eiichiro Watanabe, Hirotaka Ohsato, Naoki Ikeda, Yoshimasa Sugimoto, Edmund Clarke, Richard A. Hogg. Integration of Emission-Wavelength-Controlled InAs Quantum Dots for Ultra-Broadband Near-Infrared Light Source. Nanomaterials and Nanotechnology. 4 (2014) 26 10.5772/59315
  6. Junji Kobashi, Hiroyuki Yoshida, Takayuki Matsui, Atsushi Miura, Naoki Ikeda, Yoshimasa Sugimoto, Hisayoshi Fujikawa, Masanori Ozaki. Optical tuning of extraordinary optical transmission through a metallic hole array using azobenzene dye-doped nematic liquid crystal. Japanese Journal of Applied Physics. 53 [1S] (2014) 01AE02 10.7567/jjap.53.01ae02
2013
  1. 尾崎 信彦, 日野 雄司, 大河内 俊介, 池田 直樹, 杉本 喜正. 生体・医療OCT光源への応用を目指した1μm帯広帯域発光InAs量子ドットの作製と光学評価. 材料. 62 [11] (2013) 679-682 10.2472/jsms.62.679
  2. Nobuhiko Ozaki, Yuji Hino, Shunsuke Ohkouchi, Naoki Ikeda, Yoshimasa Sugimoto. Broadband emission centered at ∼1 µm with a Gaussian-like spectrum by stacking In-flushed QD layers. physica status solidi (c). 10 [11] (2013) 1361-1364 10.1002/pssc.201300291
  3. N. Ozaki, Y. Nakatani, S. Ohkouchi, N. Ikeda, Y. Sugimoto, K. Asakawa, E. Clarke, R.A. Hogg. Extending emission wavelength of InAs/GaAs quantum dots beyond 1.3μm by using quantum dot bi-layer for broadband light source. Journal of Crystal Growth. 378 (2013) 553-557 10.1016/j.jcrysgro.2012.12.110
  4. Yuji Hino, Nobuhiko Ozaki, Shunsuke Ohkouchi, Naoki Ikeda, Yoshimasa Sugimoto. Growth of InAs/GaAs quantum dots with central emission wavelength of 1.05μm using In-flush technique for broadband near-infrared light source. Journal of Crystal Growth. 378 (2013) 501-505 10.1016/j.jcrysgro.2012.12.077
  5. Nobuhiko Ozaki, Koichi Takeuchi, Shunsuke Ohkouchi, Naoki Ikeda, Yoshimasa Sugimoto, Hisaya Oda, Kiyoshi Asakawa, Richard A. Hogg. Monolithically grown multi-color InAs quantum dots as a spectral-shape-controllable near-infrared broadband light source. Applied Physics Letters. 103 [5] (2013) 051121 10.1063/1.4817386
  6. R. J. E. Taylor, D. M. Williams, D. T. D. Childs, B. J. Stevens, L. R. Shepherd, S. Khamas, K. M. Groom, R. A. Hogg, N. Ikeda, Y. Sugimoto. All-Semiconductor Photonic Crystal Surface-Emitting Lasers Based on Epitaxial Regrowth. IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics. 19 [4] (2013) 4900407-4900407 10.1109/jstqe.2013.2249293
  7. Chieko TAKIZAWA, Seiichi KATO, Atsushi GOTO, Hideaki KITAZAWA, Naoki IKEDA, Yoshimasa SUGIMOTO. Fabrication of a porous alumina mask on the large surface area of a semi-insulating semiconductor substrate. Journal of the Ceramic Society of Japan. 121 [1414] (2013) 516-519 10.2109/jcersj2.121.516
  8. Takayuki Matsui, Tsuyoshi Nomura, Atsushi Miura, Hisayoshi Fujikawa, Naoki Ikeda, Daiju Tsuya, Hideki T. Miyazaki, Yoshimasa Sugimoto, Masanori Ozaki, Masanori Hangyo, Kiyoshi Asakawa. Wavefront control by stacked metal-dielectric hole array with variable hole shapes. Optics Express. 21 [5] (2013) 6153 10.1364/oe.21.006153
2012
  1. Daisuke Inoue, Tsuyoshi Nomura, Atsushi Miura, Hisayoshi Fujikawa, Kazuo Sato, Naoki Ikeda, Daiju Tsuya, Yoshimasa Sugimoto, Yasuo Koide. Polarization Filters for Visible Light Consisting of Subwavelength Slits in an Aluminum Film. Journal of Lightwave Technology. 30 [22] (2012) 3463-3467 10.1109/jlt.2012.2220756
  2. Hiroyuki Kurosawa, Teruya Ishihara, Naoki Ikeda, Daiju Tsuya, Masayuki Ochiai, Yoshimasa Sugimoto. Optical rectification effect due to surface plasmon polaritons at normal incidence in a nondiffraction regime. Optics Letters. 37 [14] (2012) 2793 10.1364/ol.37.002793
  3. Takayuki Matsui, Hideki T. Miyazaki, Atsushi Miura, Tsuyoshi Nomura, Hisayoshi Fujikawa, Kazuo Sato, Naoki Ikeda, Daiju Tsuya, Masayuki Ochiai, Yoshimasa Sugimoto, Masanori Ozaki, Masanori Hangyo, Kiyoshi Asakawa. Transmission phase control by stacked metal-dielectric hole array with two-dimensional geometric design. Optics Express. 20 [14] (2012) 16092 10.1364/oe.20.016092
  4. David M. Williams, Kristian M. Groom, Ben J. Stevens, David T. D. Childs, Richard J. E. Taylor, Salam Khamas, Richard A. Hogg, Naoki Ikeda, Yoshimasa Sugimoto. Epitaxially Regrown GaAs-Based Photonic Crystal Surface-Emitting Laser. IEEE Photonics Technology Letters. 24 [11] (2012) 966-968 10.1109/lpt.2012.2191400
  5. Hiroyuki Yoshida, Takayuki Matsui, Atsushi Miura, Naoki Ikeda, Masayuki Ochiai, Yoshimasa Sugimoto, Hisayoshi Fujikawa, Masanori Ozaki. Uniform liquid crystal alignment on metallic nanohole arrays by vapor-phase deposition of silane coupling agent. Optical Materials Express. 2 [7] (2012) 893 10.1364/ome.2.000893
  6. PARAMANIK Dipak. Fabrication of self-masked InP nanopillars by electron cyclotron resonance ion etching. PHYSICA E-LOW-DIMENSIONAL SYSTEMS & NANOSTRUCTURES. 44 [7–8] (2012) 1644-1648 10.1016/j.physe2012.04.012
  7. Naoki IKEDA, Yu TANAKA, Hitoshi KAWASHIMA, Yoshimasa SUGIMOTO, Toshifumi HASAMA, Kiyoshi ASAKAWA, Hiroshi ISHIKAWA. Built-In Microplanar Lens for Light Coupling to Two-Dimensional Photonic Crystal Waveguide. IEICE Transactions on Electronics. E95-C [2] (2012) 243-246 10.1587/transele.e95.c.243
  8. David M. Williams, Kristian M. Groom, Ben J. Stevens, David T. D. Childs, Richard J. E. Taylor, Salam Khamas, Richard A. Hogg, Naoki Ikeda, Yoshimasa Sugimoto. Optimisation of Coupling between Photonic Crystal and Active Elements in an Epitaxially Regrown GaAs Based Photonic Crystal Surface Emitting Laser. Japanese Journal of Applied Physics. 51 [2] (2012) 02BG05 10.1143/jjap.51.02bg05
  9. Nobuhiko OZAKI, Koichi TAKEUCHI, Shunsuke OHKOUCHI, Naoki IKEDA, Yoshimasa SUGIMOTO, Kiyoshi ASAKAWA, Richard A. HOGG. Broadband Light Source Based on Four-Color Self-Assembled InAs Quantum Dot Ensembles Monolithically Grown in Selective Areas. IEICE Transactions on Electronics. E95-C [2] (2012) 247-250 10.1587/trasele.e95.c.247
  10. Naoki IKEDA, Yoshimasa SUGIMOTO, Masayuki OCHIAI, Daijyu TSUYA, Yasuo KOIDE, Daisuke INOUE, Atsushi MIURA, Tsuyoshi NOMURA, Hisayoshi FUJIKAWA, Kazuo SATO. Color Filter Based on Surface Plasmon Resonance Utilizing Sub-Micron Periodic Hole Array in Aluminum Thin Film. IEICE Transactions on Electronics. E95-C [2] (2012) 251-254 10.1587/transele.e95.c.251
  11. Kiyoshi ASAKAWA, Yoshimasa SUGIMOTO, Naoki IKEDA, Daiju TSUYA, Yasuo KOIDE, Yoshinori WATANABE, Nobuhiko OZAKI, Shunsuke OHKOUCHI, Tsuyoshi NOMURA, Daisuke INOUE, Takayuki MATSUI, Atsushi MIURA, Hisayoshi FUJIKAWA, Kazuo SATO. Nanophotonics Based on Semiconductor-Photonic Crystal/Quantum Dot and Metal-/Semiconductor-Plasmonics. IEICE Transactions on Electronics. E95-C [2] (2012) 178-187 10.1587/transele.e95.c.178
  12. B. Zheng, N. Iketa, Y. Takeda, K. Sato, R. Sato, H. Amekura, K. Oyoshi, K. Kono, M.E. Edwards, M. Song, D. Ila, N. Kishimoto, ZHENG, Bangke, IKEDA, Naoki, TAKEDA, Yoshihiko, SATO, Keisuke, SATO, Rodrigo, AMEKURA, Hiroshi, OYOSHI, Keiji, KONO, Kenichiro, M.E. Edwards, HASEGAWA, Akira, D. Ila, KISHIMOTO, Naoki. FIB fabrication and irradiation test of stencil masks for heavy-ion patterned implantation for plasmonic application . NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS. 272 (2012) 183-187
  13. Masanobu Iwanaga, Naoki Ikeda, Yoshimasa Sugimoto. Enhancement of local electromagnetic fields in plasmonic crystals of coaxial metallic nanostructures. Physical Review B. 85 [4] (2012) 10.1103/physrevb.85.045427
  14. Nobuhiko Ozaki, Hayato Yoneda, Koichi Takeuchi, Hisaya Oda, Naoki Ikeda, Yoshimasa Sugimoto, Yoshinori Watanabe, Kiyoshi Asakawa. Modification of optical response in quantum dots embedded in a photonic crystal waveguide via photonic band engineering. MRS Proceedings. 1438 (2012) 10.1557/opl.2012.1275
  15. Tadashi Mitsui, Yutaka Wakayama, Tsunenobu Onodera, Takeru Hayashi, Naoki Ikeda, Yoshimasa Sugimoto, Tadashi Takamasu, Hidetoshi Oikawa. Light Splitting Function of Branched Chains of Microspheres Fabricated by Self-Assembly Process. MRS Proceedings. 1392 (2012) 10.1557/opl.2012.495
2011
  1. B. Zheng, N. Iketa, K. Sato, R. Sato, M. Song, Y. Takeda, H. Amekura, K. Oyoshi, K. Kono, D. Ila, N. Kishimoto. Development and irradiation performance of stencil masks for heavy-ion patterned implantation. Surface and Coatings Technology. 206 [5] (2011) 806-811 10.1016/j.surfcoat.2011.04.023
  2. Tadashi Mitsui, Tsunenobu Onodera, Yutaka Wakayama, Takeru Hayashi, Naoki Ikeda, Yoshimasa Sugimoto, Tadashi Takamasu, Hidetoshi Oikawa. Influence of micro-joints formed between spheres in coupled-resonator optical waveguide. Optics Express. 19 [22] (2011) 22258 10.1364/oe.19.022258
  3. Liwen Sang, Meiyong Liao, Naoki Ikeda, Yasuo Koide, Masatomo Sumiya. Enhanced performance of InGaN solar cell by using a super-thin AlN interlayer. Applied Physics Letters. 99 [16] (2011) 161109 10.1063/1.3654155
  4. N. Ozaki, K. Takeuchi, S. Ohkouchi, N. Ikeda, Y. Sugimoto, K. Asakawa, R.A. Hogg. Multi-color quantum dot ensembles grown in selective-areas for shape-controlled broadband light source. Journal of Crystal Growth. 323 [1] (2011) 191-193 10.1016/j.jcrysgro.2010.11.168
  5. HISAYA ODA, AKIO YAMANAKA, NAOKI IKEDA, YOSHIMASA SUGIMOTO, KIYOSHI ASAKAWA. NONLINEAR OPTICAL EFFECTS IN PHOTONIC-CRYSTAL SLAB LINE-DEFECT WAVEGUIDE FOR ULTRAFAST ALL-OPTICAL SWITCH. Journal of Nonlinear Optical Physics & Materials. 20 [01] (2011) 43-48 10.1142/s0218863511005875
  6. Daisuke Inoue, Atsushi Miura, Tsuyoshi Nomura, Hisayoshi Fujikawa, Kazuo Sato, Naoki Ikeda, Daiju Tsuya, Yoshimasa Sugimoto, Yasuo Koide. Polarization independent visible color filter comprising an aluminum film with surface-plasmon enhanced transmission through a subwavelength array of holes. Applied Physics Letters. 98 [9] (2011) 093113 10.1063/1.3560467
2010
  1. YOSHINORI WATANABE, NAOKI IKEDA, YOSHIAKI TAKATA, YOSHINORI KITAGAWA, NOBUHIKO OZAKI, YOSHIMASA SUGIMOTO, KIYOSHI ASAKAWA. WIDEBAND OPERATION OF 2D PHOTONIC CRYSTAL DIRECTIONAL COUPLER WITH TOPOLOGY OPTIMIZED WAVEGUIDE BENDS. Journal of Nonlinear Optical Physics & Materials. 19 [04] (2010) 543-550 10.1142/s0218863510005431
  2. Tadashi Mitsui, Yutaka Wakayama, Tsunenobu Onodera, Takeru Hayashi, Naoki Ikeda, Yoshimasa Sugimoto, Tadashi Takamasu, Hidetoshi Oikawa. Micro-demultiplexer of Coupled Resonator Optical Waveguide Fabricated by Microspheres. Advanced Materials. 22 [28] (2010) 3022-3026 10.1002/adma.201000155
2009
  1. Nobuhiko Ozaki, Shunsuke Ohkouchi, Yoshiaki Takata, Naoki Ikeda, Yoshinori Watanabe, Yoshimasa Sugimoto, Kiyoshi Asakawa. Monolithic Fabrication of Two-Color InAs Quantum Dots for Integrated Optical Devices by Using a Rotational Metal Mask. Japanese Journal of Applied Physics. 48 [6] (2009) 065502 10.1143/jjap.48.065502
  2. Y. Kitagawa, N. Ozaki, Y. Takata, N. Ikeda, Y. Watanabe, Y. Sugimoto, K. Asakawa. Sequential Operations of Quantum Dot/Photonic Crystal All-Optical Switch With High Repetitive Frequency Pumping. Journal of Lightwave Technology. 27 [10] (2009) 1241-1247 10.1109/jlt.2008.2005270
  3. Kuon Inoue, Hisaya Oda, Naoki Ikeda, Kiyoshi Asakawa. Enhanced third-order nonlinear effects in slow-light photonic-crystal slab waveguides of line-defect. Optics Express. 17 [9] (2009) 7206 10.1364/oe.17.007206
  4. T. Kuroda, T. Belhadj, M. Abbarchi, C. Mastrandrea, M. Gurioli, T. Mano, N. Ikeda, Y. Sugimoto, K. Asakawa, N. Koguchi, K. Sakoda, B. Urbaszek, T. Amand, X. Marie. Bunching visibility for correlated photons from single GaAs quantum dots. Physical Review B. 79 [3] (2009) 10.1103/physrevb.79.035330
2008
  1. Takashi Kuroda, Naoki Ikeda, Takaaki Mano, Yoshimasa Sugimoto, Tetsuyuki Ochiai, Keiji Kuroda, Shunsuke Ohkouchi, Nobuyuki Koguchi, Kazuaki Sakoda, Kiyoshi Asakawa. Acceleration and suppression of photoemission of GaAs quantum dots embedded in photonic crystal microcavities. Applied Physics Letters. 93 [11] (2008) 111103 10.1063/1.2978401
  2. Yoshinori Watanabe, Naoki Ikeda, Yoshiaki Takata, Yoshinori Kitagawa, Nobuhiko Ozaki, Yoshimasa Sugimoto, Kiyoshi Asakawa. Topology optimization of a wavelength-selective Y-junction for 2D photonic crystal waveguides. Journal of Physics D: Applied Physics. 41 [17] (2008) 175109 10.1088/0022-3727/41/17/175109
  3. Hitoshi Kawashima, Yu Tanaka, Naoki Ikeda, Yoshimasa Sugimoto, Toshifumi Hasama, Hiroshi Ishikawa. Optical Bistable Response in AlGaAs-Based Photonic Crystal Microcavities and Related Nonlinearities. IEEE Journal of Quantum Electronics. 44 [9] (2008) 841-849 10.1109/jqe.2008.924818
  4. Hisaya Oda, Kuon Inoue, Akio Yamanaka, Naoki Ikeda, Yoshimasa Sugimoto, Kiyoshi Asakawa. Light amplification by stimulated Raman scattering in AlGaAs-based photonic-crystal line-defect waveguides. Applied Physics Letters. 93 [5] (2008) 051114 10.1063/1.2965110
2007
  1. Nobuhiko Ozaki, Yoshinori Kitagawa, Yoshiaki Takata, Naoki Ikeda, Yoshinori Watanabe, Akio Mizutani, Yoshimasa Sugimoto, Kiyoshi Asakawa. High transmission recovery of slow light in a photonic crystal waveguide using a hetero groupvelocity waveguide. Optics Express. 15 [13] (2007) 7974 10.1364/oe.15.007974

書籍 TSV

2011
  1. 池田 直樹, 杉本 喜正. 表面プラズモン共鳴を使ったカラーフィルタ. プラズモン基礎理解の徹底と応用展開〜実用化への要求仕様と課題/解決策検討〜. , 2011, 235-245.
  2. ASAKAWA, Kiyoshi, SUGIMOTO, Yoshimasa, IKEDA, Naoki, WATANABE, Yoshinori, Nobuhiko OZAKI, Yoshiaki TAKATA, Yoshinori KITAGAWA, Shunsuke OHKOUCHI, Shigeru NAKAMURA, Akira WATANABE, Xiao-min Wang. Photonic crystal all-optical switches. Optical switches Materials and design(Woodhead Publishing). , 2011, 242-276.
  3. 池田 直樹, 杉本 喜正. 表面プラズモンを利用したフルカラーフィルタの開発. プラズモニクス−光・電子デバイス開発最前線. , 2011, 191-198.

会議録 TSV

2022
  1. Siti Chalimah, Yuanzhao Yao, Naoki Ikeda, Afshan Begum, Kei Kaneko, Rei Hashimoto, Tsutomu Kakuno, Shinji Saito, Takashi Kuroda, Yoshimasa Sugimoto, Kazuaki Sakoda. Mid-infrared angle-resolved spectral characteristics of photonic crystal slabs for application in surface-emitting quantum cascade lasers. JOURNAL OF NONLINEAR OPTICAL PHYSICS & MATERIALS. 2022, 2250017-1-2250017-11
2012
  1. T. Matsui, A. Miura, T. Nomura, H. Fujikawa, K. Sato, N. Ikeda, D. Tsuya, M. Ochiai, Y. Sugimoto, H. T. Miyazaki, M. Ozaki, M. Hangyo, K. Asakawa. Phase measurement interferometric microscopy of stacked fishnet metamaterials. Proc. of SPIE. 2012
  2. 日野雄司, 尾崎信彦, 大河内俊介, 池田 直樹, 杉本 喜正. In フラッシュ法を用いた1 ミクロン帯広帯域発光InAs 量子ドットの作製と医療イメージングへの応用検討. 電子情報通信学会技術研究報告. 2012, 113-116
  3. Nobuhiko Ozaki, Hayato Yoneda, Koichi Takeuchi, Hisaya Oda, Naoki Ikeda, Yoshimasa Sugimoto, Yoshinori Watanabe, Kiyoshi Asakawa. Modification of optical response in quantum dots embedded in a photonic crystal waveguide via photonic band engineering. Mater. Res. Soc. Symp. Proceeding. 2012, 1-6
  4. 井上大介, 三浦篤志, 野村壮史, 藤川久喜, 佐藤和夫, 杉本 喜正, 津谷 大樹, 池田 直樹, 小出 康夫. プラズモニックカラーフィルター. 次世代ナノ技術に関する時限研究専門委員会第1回研究会講演集. 2012, 27-35
2011
  1. HISAYA ODA, AKIO YAMANAKA, NAOKI IKEDA, YOSHIMASA SUGIMOTO, KIYOSHI ASAKAWA. NONLINEAR OPTICAL EFFECTS IN PHOTONIC-CRYSTAL SLAB LINE-DEFECT WAVEGUIDE FOR ULTRAFAST ALL-OPTICAL SWITCH. JOURNAL OF NONLINEAR OPTICAL PHYSICS & MATERIALS. 2011, 43-48
  2. N. Ozaki, K. Takeuchi, S. Ohkouchi, N. Ikeda, Y. Sugimoto, K. Asakawa, R.A. Hogg. Multi-color quantum dot ensembles grown in selective-areas for shape-controlled broadband light source. JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH. 2011, 191-193
2010
  1. SUGIMOTO, Yoshimasa, IKEDA, Naoki, TSUYA, Daiju, Hisaya Oda, Kuon Inoue, Atsushi Miura, Daisuke Inoue, Tsuyoshi Nomura, Hisayoshi Fujikawa, Kazuo Sato, Nobuhiko Ozaki, Shunsuke Ohkouchi, WATANABE Yoshinori, KOIDE, Yasuo, ASAKAWA, Kiyoshi. RECENT DEVELOPMENT OF NANOPHOTONIC INTEGRATED DEVICES AND MATERIALS. COMPOUND SEMICONDUCTOR PHOTONICS Materials, Devices and Integration. 2010, 142-144
  2. YOSHINORI WATANABE, NAOKI IKEDA, YOSHIAKI TAKATA, YOSHINORI KITAGAWA, NOBUHIKO OZAKI, YOSHIMASA SUGIMOTO, KIYOSHI ASAKAWA. WIDEBAND OPERATION OF 2D PHOTONIC CRYSTAL DIRECTIONAL COUPLER WITH TOPOLOGY OPTIMIZED WAVEGUIDE BENDS. JOURNAL OF NONLINEAR OPTICAL PHYSICS & MATERIALS. 2010, 543-550
  3. Kiyoshi Asakawa, SUGIMOTO, Yoshimasa, IKEDA, Naoki, TSUYA, Daiju, KOIDE, Yasuo, WATANABE, Yoshinori, Nobuhiko Ozaki, Denish Kumar v, Takeshi Nomura, Daisuke Inoue, Atsushi Miura, Hisayoshi Fujikawa, Kazuo Sato. Evolution of nanophotonics from semiconductor photonic crystal device to metal/semiconductor plasmonic device. IEEE CONFERENCE PROCEEDINGS CAOL 2010. 2010, 18-24
  4. MITSUI, Tadashi, WAKAYAMA, Yutaka, ONODERA Tsunenobu, HAYASHI Takeru, IKEDA, Naoki, SUGIMOTO, Yoshimasa, TAKAMASU, Tadashi, OIKAWA Hidetoshi. Light Splitting Function of Branched Chains of Transparent Microspheres. Proceedings of ICTON 2010. 2010, Tu.B4.4-1-Tu.B4.4-4
  5. 池田 直樹, 津谷 大樹, 杉本 喜正, 小出 康夫, 三浦篤志, 井上大介, 野村壮士, 藤川久喜, 佐藤和夫. アルミニウム表面プラズモンカラーフィルタ. 電子情報通信学会技術研究報告 信学技報. 2010, 129-132
  6. Y. Sugimoto, N. Ikeda, D. Tsuya, N. Ozaki, H. Oda, A. Yamanaka, A. Miura, T. Nomura, D. Inoue, H. Fujikawa, S. Ohkouchi, Y. Watanabe, Y. Koide, K. Satoh, K. Asakawa. Nanophotonics technology for advanced quantum dot/photonic crystal device and metal/semiconductor plasmonic device. IEEE XPLORE DIGITAL LIBRARY. 2010
2009
  1. SUGIMOTO, Yoshimasa, IKEDA, Naoki, N. Ozaki, Y. Watanabe, S. Ohkouchi, S. Nakamura, K. Asakawa. Nanophotonic technologies for innovative alloptical all-optical signal processor using photonic crystals and quantum dots. AIP Conference Proceedings. 2009, 179-186
  2. SAKODA, Kazuaki, KURODA, Takashi, IKEDA, Naoki, MANO, Takaaki, SUGIMOTO, Yoshimasa, OCHIAI, Tetsuyuki, KURODA, Keiji, Shunsuke Ohkouchi, KOGUCHI, Nobuyuki, ASAKAWA, Kiyoshi. Purcell effect of GaAs quantum dots by photonic crystal microcavities. CHINESE OPTICS LETTERS. 2009, 879-881
  3. Nobuhiko Ozaki, IKEDA, Naoki, Yoshinori Watanabe, Yoshiaki Takata, Yoshinori Watanabe, Shunsuke Ohkouchi, Shigeru Nakamura, Akira Watanabe, Akio Mizutani, SUGIMOTO, Yoshimasa, Kiyoshi Asakawa. Photonic Crystal and Quantum Dot Technologies for Ultra-small and Ultra-fast All-optical Flip-flop. ECS TRANSACTIONS. 2009, 31-37
  4. ISHII, Masashi, IKEDA, Naoki, TSUYA, Daiju, SAKURAI, Kenji. Y2O3 Thin Film Deposited by Two-step Process and Its Resistance to Halogen Plasma. Proceedings of 2008 E-MRS. 2009, 205-212
  5. SUGIMOTO, Yoshimasa, IKEDA, Naoki, N. Ozaki, Y. Watanabe, S. Ohkouchi, KURODA, Takashi, MANO, Takaaki, OCHIAI, Tetsuyuki, KURODA, Keiji, KOGUCHI, Nobuyuki, SAKODA, Kazuaki, ASAKAWA, Kiyoshi. Advanced quantum dot and photonic crystal technologies for integrated nanophotonic circuits. MICROELECTRONICS JOURNAL. 2009, 736-740
2008
  1. Yoshinori Kitagawa , Nobuhiko Ozaki, Yoshiaki Takata, IKEDA, Naoki, Shunsuke Ohkouchi , Yoshinori Watanabe, SUGIMOTO, Yoshimasa, Kiyoshi Asakawa. Optical-Nonlinearity-Induced Phase Shift via Selective-Area Grown InAs Quantum Dots in a Photonic Crystal Waveguide. JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. 2008, 2893-2896
  2. 杉本 喜正, 池田 直樹, 尾崎信彦, 渡辺慶規, 浅川 潔. 極微細加工技術が支える集積・超高速光信号処理ナノフォトニクス. 応用電子物性分科会誌. 2008, 104-109
  3. Shunsuke Ohkouchi, Nobuhiko Ozaki, Yoshiaki Takata, Yoshinori Kitagawa, Yusui Nakamura, IKEDA, Naoki, SUGIMOTO, Yoshimasa, Kiyoshi Asakawa. In situ Metal Mask for Selective Area Growth of Thin Epitaxial Layers. JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. 2008, 2987-2990
  4. Nobuhiko Ozaki, Yoshiaki Takata, Shunsuke Ohkouchi, SUGIMOTO, Yoshimasa, IKEDA, Naoki, Kiyoshi Asakawa. Selective-area-growth of InAs-QDs with different absorption wavelengths via developed metal-mask/MBE method for integrated optical devices. APPLIED SURFACE SCIENCE. 2008, 7968-7971

口頭発表 TSV

2021
  1. 楊 旭, 李 世勝, 池田 直樹, 佐久間 芳樹. Oxide Scale Sublimation Chemical Vapor Deposition: Controllable Growth of Monolayer MoS2. 2021 MRS Fall Meeting. 2021
  2. 澤田 朋実, 生田目 俊秀, 女屋 崇, 井上 万里, 大井 暁彦, 池田 直樹, 塚越 一仁. Importance of Annealing Step on Dielectric Constant of ZrO2 Layer of MIM Capacitors with Al2O3/ZrO2 and ZrO2/Al2O3 Stack Structures. 240th ECS Meeting / https://www.electrochem.org/240/. 2021
  3. 佐久間 芳樹, 楊 旭, 李 世勝, 池田 直樹. オキシクロライドCVDによるMoS2成膜過程へのO2添加効果. 第82回応用物理学会秋季学術講演会. 2021
  4. シティ ハリマ シティ ハリマ, 姚 遠昭, 池田 直樹, アフシャン ベガム アフシャン ベガム, Kei Kaneko, Rei Hashimoto, Tsutomu Kakuno, Shinji Saito, 黒田 隆, 杉本 喜正, 迫田 和彰. Midinfrared angle-resolved reflection measurement of two-dimensional photonic crystal slabs for their application to surface emitting quantum cascade lasers. The 13th International Symposium on Modern Optics and Its Applications (ISMOA 2021) / https://ismoa.indonesianoptics.org . 2021
  5. 黒田 隆, シティ ハリマ シティ ハリマ, 姚 遠昭, 池田 直樹, 杉本 喜正, Rei Hashimoto, Tsutomu Kakuno, Kei Kaneko, Shinji Saito, 迫田 和彰. Characterization of mid-IR photonic crystal slabs using angle-resolved FT-IR spectroscopy. META2021, the 11th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics      https://metaconferences.org/. 2021
  6. 生田目 俊秀, 井上 万里, 前田 瑛里香, 女屋 崇, 廣瀨 雅史, 小林 陸, 大井 暁彦, 池田 直樹, 塚越 一仁. Study of SiO2 growth mechanism between a single SiO2 and (HfO2)/(SiO2) nanolaminate formation by ALD using TDMAS and H2O gas. 21st International Conference on Atomic Layer Deposition. 2021
  7. 女屋崇, 生田目俊秀, 澤本直美, 大井暁彦, 池田直樹, 長田貴弘, 小椋厚志. Effect of Ti Scavenging Layer on Ferroelectricity of HfxZr1−xO2 Thin Films Fabricated by Atomic Layer Deposition Using Hf/Zr Cocktail Precursor. AVS 21st International Conference on Atomic Layer Deposition (ALD 2021) / https://ald2021.avs.org/. 2021
  8. 生田目 俊秀, 色川 芳宏, Akira Uedono, 大井 暁彦, 池田 直樹, 小出 康夫. Investigation of Al2O3/GaN interface using photo-assisted capacitance-voltage technique. INTERNATIONAL CONFERENCE ON PROCESSING & MANUFACTURING OF ADVANCED MATERIALS(THERMEC'2021). 2021
  9. MAEDA, Erika, NABATAME, Toshihide, HIROSE, Masafumi, INOUE, Mari, OHI, Akihiko, 塩崎宏司, 清野肇, IKEDA, Naoki. Characteristics of GaN/HfSiOx interface for n-GaN/HfSiOx/Pt MOS capacitor. International Conference on PROCESSING & MANUFACTURING OF ADVANCED MATERIALS (THERMEC'2021). 2021
  10. シティ ハリマ シティ ハリマ, 姚 遠昭, 池田 直樹, 杉本 喜正, 黒田 隆, 迫田 和彰. Observation of Dirac cone in two-dimensional photonic crystals by angle-dependent reflection measurement in the mid-infrared region. MANA International Symposium 2021. 2021
  11. 女屋崇, 生田目俊秀, 澤本直美, 大井暁彦, 池田直樹, 長田貴弘, 小椋厚志. Control of ferroelectric phase formation in HfxZr1−xO2 thin films using nano-ZrO2 nucleation layer technique. MANA International Symposium 2021/https://www.nims.go.jp/mana/2021/index.html. 2021
2020
  1. KOBAYASHI, Riku, NABATAME, Toshihide, ONAYA, Takashi, OHI, Akihiko, IKEDA, Naoki, NAGATA, Takahiro, TSUKAGOSHI, Kazuhito, 小椋 厚志. Influence of Adsorbed O2 on The Gate-Bias Stress Stability of Back-Gate-Type TFT with Carbon-Doped In2O3 Channel. 33rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference/https://mnc2020.award-con.com/LOGIN.php. 2020
  2. NABATAME, Toshihide, 大石知司, INOUE, Mari, 高橋 誠, 伊藤和博, IKEDA, Naoki, OHI, Akihiko. Characteristic of flexible ReRAM with Al2O3/TiO2 active layer by ALD and PDA process at low temperature. PRime2020. 2020
  3. 小林 陸, 生田目 俊秀, 女屋 崇, 大井 暁彦, 池田 直樹, 長田 貴弘, 塚越 一仁, 小椋 厚志. Air及びN2雰囲気のバイアスストレスによるアモルファスCarbon-doped In2O3TFTのトランジスタ特性. 第81回応用物理学会秋季学術講演会. 2020
  4. IKEDA, Naoki, YANG, Xu, SAKUMA, Yoshiki. OSS-CVD for MoS2 Monolayers: A New Approach Utilizing Oxide-Scale Sublimation of Molybdenum. 第81回応用物理学会秋季学術講演会. 2020
  5. 前田 瑛里香, 生田目 俊秀, 廣瀨 雅史, 井上 万里, 大井 暁彦, 池田 直樹, 塩崎宏司, 橋詰保, 清野肇. GaNパワーデバイス用HfAlOx、HfSiOx、AlSiOx、Al2O3及びHfO2 絶縁膜の特性比較. 第81回応用物理学会秋季学術講演会. 2020
  6. 姚 遠昭, 黒田 隆, 池田 直樹, 間野 高明, 小山 広美, 杉本 喜正, 迫田 和彰. フォトニック結晶スラブにおける角度分解反射ピークの偏光選択則. 日本物理学会 第75回年次大会. 2020
  7. 前田 瑛里香, 生田目 俊秀, 廣瀨 雅史, 井上 万里, 大井 暁彦, 池田 直樹, 塩崎宏司, 清野肇. GaN/HfSiOx界面でSiO2及びHfO2初期成長層が電気特性へ及ぼす影響. 第67回応用物理学会春季学術講演会. 2020
  8. 小林 陸, 生田目 俊秀, 栗島 一徳, 女屋 崇, 大井 暁彦, 池田 直樹, 長田 貴弘, 塚越 一仁, 小椋 厚志. NBS及びPBSによるアモルファスCarbon-doped In2O3TFTの信頼性特性. 2020年第67回応用物理春季学術講演会. 2020
  9. 廣瀨 雅史, 生田目 俊秀, 前田 瑛里香, 大井 暁彦, 池田 直樹, 色川 芳宏, 小出 康夫, 清野肇. PDA雰囲気ガスがn-β-Ga2O3/Al2O3/Pt MOSキャパシタの電気特性へ及ぼす影響. 第67回応用物理学会春季学術講演会. 2020
  10. NGO, Hai Dang , CHEN, Kai, DOAN, Tung Anh, HANDEGARD, Orjan Sele, NGO, Duc Thien, DAO, Duy Thang, IKEDA, Naoki, OHI, Akihiko, NABATAME, Toshihide, NAGAO, Tadaaki. Nanoantenna structure with mid-infrared plasmonic niobium doped titanium oxide. The 13th MANA International Symposium 2020 jointly with ICYS. 2020
  11. KOBAYASHI, Riku, NABATAME, Toshihide, 栗島 一徳, ONAYA, Takashi, OHI, Akihiko, IKEDA, Naoki, NAGATA, Takahiro, TSUKAGOSHI, Kazuhito, 小椋 厚志. Comparison of Oxide TFT with C-doped and C-free In2O3 Channels by ALD. MANA INTERNATIONAL SYMPOSIUM 2020/https://www.nims.go.jp/mana/2020/. 2020
  12. 姚 遠昭, 黒田 隆, 池田 直樹, 杉本 喜正, 間野 高明, 小山 広美, 迫田 和彰. Selection rule and line shape of Dirac-cone modes in SOI photonic crystals. SPIE Photonics West. 2020
  13. 前田 瑛里香, 生田目 俊秀, 廣瀨 雅史, 井上 万里, 大井 暁彦, 池田 直樹, 塩崎宏司, 清野肇. GaN/HfSiOxキャパシタの電気特性に対するHfSiOx絶縁膜の膜厚依存性. 第25回電子デバイス界面テクノロジー研究会. 2020
  14. 廣瀨 雅史, 生田目 俊秀, 前田 瑛里香, 大井 暁彦, 池田 直樹, 色川 芳宏, 小出 康夫, 清野肇. Al2O3/β-Ga2O3スタック構造のPMA効果と界面特性の関係. 電子デバイス界面テクノロジー研究会 ー材料・プロセス・デバイス特性の物理ー. 2020
  15. 廣瀨 雅史, 生田目 俊秀, 前田 瑛里香, 大井 暁彦, 池田 直樹, 色川 芳宏, 小出 康夫, 清野肇. Al2O3/β-Ga2O3スタック構造のPMA効果と界面特性の関係. 電子デバイス界面テクノロジー研究会 ー材料・プロセス・デバイス特性の物理ー. 2020
  16. 小林 陸, 生田目 俊秀, 栗島 一徳, 女屋 崇, 大井 暁彦, 池田 直樹, 長田 貴弘, 塚越 一仁, 小椋 厚志. ALD法で作製したC-doped及びC-free In2O3膜を チャネルとした酸化物TFTの比較. 「電子デバイス界面テクノロジー研究会 -材料・プロセス・デバイス特性の物理-」(第25回). 2020
2019
  1. 前田 瑛里香, 生田目 俊秀, 堀江 智之, 池田 直樹, 廣瀨 雅史, 井上 万里, 大井 暁彦, 塩崎宏司, 清野肇. HfSiO x 絶縁膜 の GaN パワーデバイス における n GaN/HfSiO x 界面の構造解析. 第2回結晶工学×ISYSE合同研究会. 2019
  2. 廣瀨 雅史, NABATAME, Toshihide, 前田 瑛里香, OHI, Akihiko, IKEDA, Naoki, IROKAWA, Yoshihiro, KOIDE, Yasuo, 清野肇. Influence of post-metallization annealing on the characteristics of Pt/Al2O3/n-β-Ga2O3 capacitors after post-deposition annealing. 2019 IWDTF. 2019
  3. 小林 陸, NABATAME, Toshihide, 栗島 一徳, 女屋 崇, OHI, Akihiko, IKEDA, Naoki, NAGATA, Takahiro, TSUKAGOSHI, Kazuhito, 小椋 厚志. Characteristics of Oxide TFT Using Carbon-Doped Ιn2O3 Thin Film Fabricated By Low-Temperature ALD Using Ιn-Etcp and H2O&O3 . 236th ECS Meeting. 2019
  4. NGO, Hai Dang , CHEN, Kai, DOAN, Tung Anh, HANDEGARD, Orjan Sele, DAO, Duy Thang, NGO, Duc Thien, NABATAME, Toshihide, IKEDA, Naoki, NAGAO, Tadaaki, OHI, Akihiko. Nanoantenna structure with mid-infrared plasmonic niobium-doped titanium dioxide. ICSFS19-The 19th International Conference on Solid Films and Surfaces . 2019
  5. SAKUMA, Yoshiki, LI, Shisheng, IKEDA, Naoki, OHTAKE, Akihiro. Impact of Glass Substrates on MoS2 Monolayers Grown by Novel Oxychloride CVD. The 11th annual Recent Progress in Graphene and Two-dimensional Materials Research Conference http://www.rpgrconf.com/2019/index.php. 2019
  6. KURODA, Takashi, YAO, Yuanzhao, IKEDA, Naoki, SUGIMOTO, Yoshimasa, SAKODA, Kazuaki. Creation of a photonic Dirac cone at mid-infrared wavelength using an SOI slab waveguides. 2019年応用物理学会秋季講演会. 2019
  7. 前田 瑛里香, 生田目 俊秀, 廣瀨 雅史, 井上 万里, 池田 直樹, 塩崎宏司, 清野肇. GaN/HfSiOx/PtキャパシタでGaN/HfSiOx界面が電気特性に及ぼす影響. 第80回応用物理学会秋季学術講演会. 2019
  8. SAKODA, Kazuaki, YAO, Yuanzhao, IKEDA, Naoki, KURODA, Takashi, MANO, Takaaki, KOYAMA, Hiromi, SUGIMOTO, Yoshimasa. Propagation of Dirac-cone modes in photonic crystal slabs. Metamaterials'2019. 2019
  9. NGO, Hai Dang , CHEN, Kai, DOAN, Tung Anh, HANDEGARD, Orjan Sele, NGO, Duc Thien, IKEDA, Naoki, DAO, Duy Thang, OHI, Akihiko, NAGAO, Tadaaki, NABATAME, Toshihide. Fabrication of Plasmonic Nanoantenna with Mid-infrared Niobium-Doped Titanium Dioxide . 応用物理学会秋季学術講演会/JSAP Autumn Meeting 2019. 2019
  10. 佐久間 芳樹, 李 世勝, 池田 直樹, 大竹 晃浩. ガス原料CVDを用いたTMDC単層膜成長におけるガラス基板の効果. 第80回応用物理学会秋季学術講演会. 2019
  11. 廣瀨 雅史, 生田目 俊秀, 前田 瑛里香, 池田 直樹, 大井 暁彦, 色川 芳宏, 岩井 秀夫, 安福 秀幸, 川田 哲, 高橋誠, 伊藤和博, 小出 康夫, 清野肇. Pt/Al2O3/β-Ga2O3 MOSキャパシタの熱処理温度による電気特性の変化. 第80回応用物理学会秋季学術講演. 2019
  12. 生田目 俊秀, 大石 知司, 井上 万里, 高橋 誠, 伊藤 和博, 池田 直樹, 大井 暁彦. Al2O3/TiO2二層構造を用いたフレキシブル抵抗変化型メモリの抵抗スイッチング特性. 2019年日本金属学会秋期講演大会. 2019
  13. YAO, Yuanzhao, IKEDA, Naoki, SUGIMOTO, Yoshimasa, KURODA, Takashi, MANO, Takaaki, KOYAMA, Hiromi, SAKODA, Kazuaki. Photonic Dirac Cones in SOI Photonic Crystal Slabs: II. Theory. The 4th A3 Metamaterials Forum. 2019
  14. KURODA, Takashi, IKEDA, Naoki, SUGIMOTO, Yoshimasa, MANO, Takaaki, YAO, Yuanzhao, KOYAMA, Hiromi, SAKODA, Kazuaki. Photonic Dirac Cones in SOI Photonic Crystal Slabs: III. Experiments. The 4th A3 Metamaterials Forum. 2019
  15. SAKODA, Kazuaki, YAO, Yuanzhao, KURODA, Takashi, MANO, Takaaki, IKEDA, Naoki, KOYAMA, Hiromi, SUGIMOTO, Yoshimasa. Photonic Dirac Cones in SOI Photonic Crystal Slabs: I. Principle. The 4th A3 Metamaterials Forum. 2019
  16. YAO, Yuanzhao, IKEDA, Naoki, KURODA, Takashi, MANO, Takaaki, KOYAMA, Hiromi, SUGIMOTO, Yoshimasa, SAKODA, Kazuaki. Mid IR Dirac-cone dispersion relation materialized in SOI photonic crystal slabs. The 10th International Conference on Metamaterials, Photonic Crystals and Plasmonics. 2019
  17. MAEDA, Erika, NABATAME, Toshihide, HIROSE, Masafumi, INOUE, Mari, OHI, Akihiko, Makoto Takahashi, IKEDA, Naoki, Kazuhiro Ito, 清野 肇. Fundamental study on the SiO2 growth mechanism of electronegativity difference of Metal-O in the high-k underlayers by PE-ALD method. ALD2019. 2019
  18. MAEDA, Erika, NABATAME, Toshihide, HIROSE, Masafumi, INOUE, Mari, OHI, Akihiko, IKEDA, Naoki, Makoto Takahashi, Kazuhiro Ito, 清野 肇. Fundamental study on the SiO2 growth mechanism of electronegativity difference of Metal-O in the high-k underlayers by PE-ALD method. ALD2019. 2019
  19. 廣瀨 雅史, NABATAME, Toshihide, 前田 瑛里香, OHI, Akihiko, IKEDA, Naoki, IROKAWA, Yoshihiro, KOIDE, Yasuo, 清野肇. Influence of surface cleaning process on initial growth of ALD-Al2O3 and electrical properties of Pt/Al2O3/β-Ga2O3 MOS capacitors. ALD2019. 2019
  20. MAEDA, Erika, NABATAME, Toshihide, HIROSE, Masafumi, YUGE, Kazuya, INOUE, Mari, OHI, Akihiko, IKEDA, Naoki, 清野肇, 塩崎宏司. Change of characteristics for n-GaN MOS capacitors with Hf-rich HfSiOx gate dielectrics by various post-deposition annealing. INFOS 2019. 2019
  21. ONAYA, Takashi, 澤本 直美, OHI, Akihiko, NABATAME, Toshihide, IKEDA, Naoki, NAGATA, Takahiro, 小椋 厚志. Ferroelectricity of HfxZr1−xO2 thin films fabricated using plasma-enhanced atomic layer deposition and low temperature annealing process. 21th Conference of “Insulating Films on Semiconductors”. 2019
  22. HIROSE, Masafumi, NABATAME, Toshihide, YUGE, Kazuya, MAEDA, Erika, OHI, Akihiko, IKEDA, Naoki, IROKAWA, Yoshihiro, IWAI, Hideo, 安福 秀幸, KAWADA, Satoshi, KOIDE, Yasuo. Influence of post-deposition annealing on electrical characteristics of Pt/Al2O3/β-Ga2O3 MOS capacitors. INFOS 2019. 2019
  23. YUGE, Kazuya, NABATAME, Toshihide, IROKAWA, Yoshihiro, OHI, Akihiko, IKEDA, Naoki, 上殿 明良, SANG, Liwen, KOIDE, Yasuo, 大石 知司. Influence of post-deposition annealing on interface characteristics at Al2O3/n-GaN. Electron Devices Technology and Manufacturing Conference. 2019
  24. 栗島 一徳, NABATAME, Toshihide, ONAYA, Takashi, TSUKAGOSHI, Kazuhito, OHI, Akihiko, IKEDA, Naoki, NAGATA, Takahiro, 小椋 厚志. Suppression of threshold voltage shift on In-Si-O-C Thin-Film Transistor with an Al2O3 Passivation Layer under Negative and Positive Gate-Bias Stress. IEEE EDTM 2019. 2019
  25. 女屋 崇, 生田目 俊秀, 澤本 直美, 大井 暁彦, 池田 直樹, 長田 貴弘, 小椋 厚志. 300 °C低温形成したHfxZr1−xO2薄膜の強誘電性. 第66回応用物理学会春季学術講演会. 2019
  26. YAO, Yuanzhao, IKEDA, Naoki, KURODA, Takashi, MANO, Takaaki, KOYAMA, Hiromi, SUGIMOTO, Yoshimasa, SAKODA, Kazuaki. Non-Hermitian Dirac cones materialized in SOI photonic crystal slabs. Photonics West. 2019
  27. 前田 瑛里香, 生田目 俊秀, 弓削 雅津也, 廣瀨 雅史, 井上 万里, 大井 暁彦, 池田 直樹, 塩崎宏司, 清野肇. Hfリッチな組成のHfSiOxゲート絶縁膜を用いたn-GaN MOSキャパシタの特性. 第24回電子デバイス界面テクノロジー研究会. 2019
  28. 廣瀨雅史, 大井暁彦, 生田目俊秀, 前田瑛里香, 弓削雅津也, 池田直樹, 色川芳宏, 小出康夫. Al2O3絶縁膜を用いたn-GaN及びn-β-Ga2O3キャパシタの電気特性の比較. 第24回電子デバイス界面テクノロジー研究会. 2019
  29. 弓削 雅津也, 生田目 俊秀, 色川 芳宏, 大井 暁彦, 池田 直樹, 上殿明殿, サン リウエン, 小出 康夫, 大石知司. Al2O3/n-GaN界面での伝導帯/価電子帯近傍の界面準位密度に関する研究. 膜・表面物理分科会、シリコンテクノロジー分科会. 2019
  30. 小林 陸, 生田目 俊秀, 栗島 一徳, 木津 たきお, 女屋 崇, 大井 暁彦, 池田 直樹, 長田 貴弘, 塚越 一仁, 小椋 厚志. 低温度ALD法を用いてAl2O3及びSiO2下地基板へ形成したIn2O3膜の特性. 電子デバイス界面テクノロジー研究会. 2019
2018
  1. 女屋 崇, 生田目 俊秀, 澤本直美, 大井 暁彦, 池田 直樹, 長田 貴弘, 小椋厚志. Improvement of Ferroelectricity of HfxZr1−xO2 Thin Films by New ZrO2 Nucleation Technique. 49th IEEE Semiconductor Interface Specialists Conference. 2018
  2. 生田目 俊秀, 井上 万里, 前田瑛里香, 弓削雅津也, 廣瀨雅文, Makoto Takahashi, Kazuhiro Ito, 池田 直樹, Tomoji Ohishi, 大井 暁彦. Growth mechanism and characteristics of Hf-Si-O film by PE-ALD using TDMAS and TDMAH precursors and oxygen plasma gas. AVS 65th International symposium & Exhibition. 2018
  3. 栗島 一徳, 生田目 俊秀, 女屋 崇, 塚越 一仁, 大井 暁彦, 池田 直樹, 長田 貴弘, 小椋厚志. ゲートバイアスストレスにおけるAl2O3パッシベーション層を用いたAl2O3/In-SI-O-C薄膜トランジスタの信頼性. AiMES 2018. 2018
  4. ONAYA, Takashi, NABATAME, Toshihide, 澤本直美, 栗島一徳, OHI, Akihiko, IKEDA, Naoki, NAGATA, Takahiro, 小椋厚志. Ferroelectricity of HfxZr1-xO2 thin films fabricated using TiN stressor layer and ZrO2 nucleation layer. AiMES 2018. 2018
  5. 生田目 俊秀, 女屋 崇, 澤本直美, 大井 暁彦, 池田 直樹, 小椋厚志. ZrO2シード層による強誘電体HfxZr1−xO2薄膜形成. 2018年 第79回応用物理学会秋季学術講演会. 2018
  6. 女屋 崇, 生田目 俊秀, 澤本直美, 大井 暁彦, 池田 直樹, 長田 貴弘, 小椋厚志. ナノZrO2核生成層を用いた強誘電体HfxZr1−xO2薄膜の作製技術. 第79回応用物理学会秋季学術講演会. 2018
  7. 廣瀨 雅史, 生田目 俊秀, 弓削 雅津也, 前田 瑛里香, 大井 暁彦, 色川 芳宏, 小出 康夫, 池田 直樹. 表面処理方法がβ-Ga2O3/Al2O3/Pt MOSキャパシタの電気特性へ及ぼす影響. 第79回応用物理学会秋季学術講演会. 2018
  8. 廣瀨 雅史, 生田目 俊秀, 弓削 雅津也, 前田 瑛里香, 大井 暁彦, 色川 芳宏, 小出 康夫, 池田 直樹. 表面処理方法がβ-Ga2O3/Al2O3/Pt MOSキャパシタの電気特性へ及ぼす影響. 第79回応用物理学会秋季学術講演会. 2018
  9. 前田 瑛里香, 生田目 俊秀, 弓削 雅津也, 廣瀨 雅史, 井上 万里, 大井 暁彦, 池田 直樹, 塩崎宏司, 大石知司. HfSiOx絶縁膜を用いたn-GaN MOSキャパシタの高耐圧特性. 第79回応用物理学会秋季学術講演会. 2018
  10. 佐久間 芳樹, 池田 直樹, 大竹 晃浩, 間野 高明. WOCl4をプリカーサに用いたWS2単層膜のガス原料CVD. 第79回応用物理学会秋季学術講演会. 2018
  11. 女屋 崇, 生田目 俊秀, 澤本直美, 大井 暁彦, 池田 直樹, 長田 貴弘, 小椋厚志. Impact of Top-ZrO2 Nucleation Layer on Ferroelectricity of HfxZr1−xO2 Thin Films for Ferroelectric Field Effect Transistor Application. SSDM2018. 2018
  12. 弓削 雅津也, 生田目 俊秀, 色川 芳宏, 大井 暁彦, 池田 直樹, 上殿 明良, サン リウエン, 小出 康夫, 大石 知司. 光支援C-V法を用いたAl2O3/n-GaN界面ディープトラップの分析. Solid State Devices and Materials. 2018
  13. YAOYuanzhao, 黒田隆, 間野高明, 池田直樹, 小山広美, 杉本喜正, 迫田和彰. 非エルミート系の光ディラックコーンII. 日本物理学会2018年秋季大会. 2018
  14. YAO, Yuanzhao, IKEDA, Naoki, MANO, Takaaki, KURODA, Takashi, KOYAMA, Hiromi, SUGIMOTO, Yoshimasa, SAKODA, Kazuaki. Non-Hermitian Dirac Cones in SOI Photonic Crystal Slabs. The 3rd A3 Metamaterials Forum. 2018
  15. 姚 遠昭, 池田 直樹, 杉本 喜正, 黒田 隆, 間野 高明, 小山 広美, 迫田 和彰. SOIフォトニック結晶の非エルミートなディラックコーン. CLEO Pacific Rim 2018. 2018
  16. 女屋 崇, 生田目 俊秀, 澤本直美, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 小椋厚志. Effect of ZrO2 capping-layer on ferroelectricity of HfxZr1−xO2 thin films by ALD using Hf/Zr cocktail precursor. 18th International Conference on Atomic Layer Deposition. 2018
  17. 生田目 俊秀, 井上 万里, 高橋誠, 伊藤和博, 池田 直樹, 大井 暁彦. Different growth mechanism of SiO2 layer on various High-k films by PE-ALD using Tris(dimethylamino)silane and oxygen plasma. 18th International Conference on Atomic Layer Deposition. 2018
  18. 生田目 俊秀, 色川 芳宏, 大井 暁彦, 池田 直樹, サン リウエン, 小出 康夫, 大石知司. Al2O3/n-GaNキャパシタの自然酸化膜層が電気特性へ及ぼす影響. シリコン材料・デバイス研究会 (SDM). 2018
  19. 佐久間 芳樹, 池田 直樹, 間野 高明, 大竹 晃浩. Scalable growth of high-quality MoS2 and WS2 atomic layers using oxychloride sources in MOCVD reactor. ICMOVPE-XIX. 2018
  20. 弓削 雅津也, 色川 芳宏, 大井 暁彦, 池田 直樹, サン リウエン, 大石知司, 小出 康夫. Role of a native oxide interlayer on electrical characteristics of Al2O3/n-GaN capacitors. Joint ISTDM/ISCI 2018 Conference. 2018
  21. 生田目 俊秀, 木村将之, 弓削 雅津也, 井上 万里, 池田 直樹, 大石知司, 大井 暁彦. 原子層堆積法の成長条件がAl2O3膜の特性へ及ぼす影響. 2018春期(第162回)日本金属学会講演大会. 2018
  22. 弓削 雅津也, 生田目 俊秀, 色川 芳宏, 大井 暁彦, 池田 直樹, サン リウエン, 知京 豊裕, 小出 康夫, 大石 知司. Al2O3/n-GaNキャパシタの酸化ガリウム界面層が電気特性へ及ぼす影響. 第65回応用物理学会春季学術講演会. 2018
  23. 女屋 崇, 生田目 俊秀, 澤本直美, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 小椋厚志. 上下ZrO2核生成層によるHfxZr1−xO2薄膜の強誘電性の改善. 第65回応用物理学会春季学術講演会. 2018
  24. 女屋 崇, 生田目 俊秀, 澤本直美, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 小椋厚志. 上下ZrO2核生成層を用いたHfxZr1−xO2薄膜の強誘電性の向上. 第23回電子デバイス界面テクノロジー研究会―材料・プロセス・デバイ. 2018
  25. 栗島 一徳, 生田目 俊秀, 女屋 崇, 木津 たきお, 塚越 一仁, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 小椋厚志. 酸化物薄膜トランジスターに対する信頼性へのAl2O3/In0.76Si0.24O0.99C0.01界面の影響. PCSI-45. 2018
2017
  1. 女屋 崇, 生田目 俊秀, 澤本直美, 栗島 一徳, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 小椋厚志. Improvement in ferroelectricity of HfxZr1-xO2 thin films using double nanocrystal ZrO2 layers. 2017 IWDTF. 2017
  2. 女屋 崇, 生田目 俊秀, 澤本直美, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 小椋厚志. ZrO2シード層がHfxZr1-xO2薄膜の強誘電性へ及ぼす効果. シリコン材料・デバイス研究会-プロセス科学と新プロセス技術-. 2017
  3. 岩長 祐伸, 間野 高明, 池田 直樹. 量子ドット成長基板上に作製したプラズモニックメタ表面の超線形効果. 第78回応用物理学会秋季学術講演会. 2017
  4. 栗島 一徳, 生田目 俊秀, 女屋 崇, 木津 たきお, 塚越 一仁, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 小椋厚志. High-k/In1-xSixO1-yCyチャネル界面がトランジスタ特性に及ぼす影響. 2017年 第78回応用物理学会秋季学術講演会. 2017
  5. 女屋 崇, 生田目 俊秀, 澤本直美, 栗島 一徳, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 小椋厚志. ナノ結晶ZrO2シード層を用いた厚膜HfxZr1-xO2の強誘電性. 第78回応用物理学会秋季学術講演会. 2017
  6. 女屋 崇, 生田目 俊秀, 栗島 一徳, 澤本直美, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 小椋厚志. Effect of ZrO2-seed-layer on ferroelectricity of HfxZr1-xO2 thin film for memory applications. XXVI International Materials Research Congress. 2017
  7. 岩長 祐伸, 間野 高明, 池田 直樹. Nonlinear Optical Responses under Weak Excitation Regime from Embedded Quantum Dots in Semiconductors Covered by Plasmonic Metasurfaces. META’17. 2017
  8. 栗島 一徳, 生田目 俊秀, 木津 たきお, 塚越 一仁, 女屋 崇, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 小椋厚志. CドープIn-Si-O薄膜トランジスタの負バイアス不安定性. ULSIC vs TFT 2017. 2017
  9. 王 若曦, 池沢 道男, 山田 雄太, 佐久間 芳樹, 武田 寛之, 池田 直樹, 杉本 喜正, 迫田 和彰, 舛本 泰章. 等電子トラップを埋め込んだフォトニック結晶共振器による単一光子発生と発光寿命制御. 第72回年次大会(2017年). 2017
  10. 女屋 崇, 生田目 俊秀, 栗島 一徳, 澤本直美, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 小椋厚志. ALD-ZrO2シード層によるHfxZr1-xO2膜の強誘電性の改良. 第64回応用物理学会春季学術講演会. 2017
  11. 栗島 一徳, 生田目 俊秀, 木津 たきお, 塚越 一仁, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 小椋厚志. ホールトラップがCドープIn-Si-Oのトランジスタ特性へ及ぼす影響. 第64回 応用物理学会春季学術講演会. 2017
  12. 王 若曦, 池沢 道男, 山田 雄太, 佐久間 芳樹, 武田 寛之, 池田 直樹, 杉本 喜正, 迫田 和彰, 舛本 泰章. フォトニック結晶共振器による単一等電子発光中心の発光寿命制御. 第64回応用物理学会春季学術講演会. 2017
  13. 岩長 祐伸, 池田 直樹. 半導体からなる単層メタ表面における前方・後方散乱型共鳴と光学スペクトル. 第64回応用物理学会春季学術講演会. 2017
  14. 弓削 雅津也, 生田目 俊秀, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 大石知司. Pt触媒効果により酸素欠陥及び酸素を導入したAl2O3膜の特性. APS March Meeting. 2017
  15. 女屋 崇, 生田目 俊秀, 栗島 一徳, 澤本直美, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 小椋厚志. High-kシード層がHfZrO2膜の強誘電性へ及ぼす影響. 電子デバイス界面テクノロジー研究会 材料・プロセス・デバイス特性. 2017
  16. 弓削 雅津也, 生田目 俊秀, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 大石知司. Pt触媒効果を用いたALD-Al2O3膜の熱処理雰囲気とVfbシフトの関係. 電子デバイス界面テクノロジー研究会. 2017
  17. 栗島 一徳, 生田目 俊秀, 木津 たきお, 塚越 一仁, 大井 暁彦, 池田 直樹, 知京 豊裕, 小椋厚志. 酸化物薄膜トランジスタにおけるCドープIn-Si-OとIn-Si-Oチャネルの信頼性の比較. 第22回電子デバイス界面テクノロジー研究会. 2017
2016
  1. 王 若曦, 池沢 道男, 張 遼, 山田 雄太, 佐久間 芳樹, 武田 寛之, 池田 直樹, 杉本 喜正, 迫田 和彰, 舛本 泰章. GaAs中の窒素不純物を利用した明るい単一光子源. 第2回TIA光・量子計測シンポジウム. 2016
2015
  1. 池沢道男, 張遼, 武田 寛之, 池田 直樹, 杉本 喜正, 佐久間 芳樹, 迫田 和彰, 舛本泰章. GaAs中の窒素発光中心を利用した単一光子源. 光・量子計測シンポジウム. 2015
  2. 池沢道男, 山田雄太, 佐久間 芳樹, 張遼, 武田 寛之, 池田 直樹, 杉本 喜正, 迫田 和彰, 舛本泰章. Non-classical Light Generation from Isoelectronic Traps Embedded in Photonic Crystal Microcavities. EP2DS-21/MSS-17. 2015
  3. 池沢道男, 張遼, 佐久間 芳樹, 武田 寛之, 池田 直樹, 杉本 喜正, 迫田 和彰, 舛本泰章. Single Photon Gneration from Nitrogen Isoelectronic Traps in III-V Semiconductors. Korea-Japan Joint Symp. on Semiconductor Physics and Technology. 2015
2014
  1. 池沢道男, 山田雄太, 佐久間 芳樹, 張遼, 武田 寛之, 池田 直樹, 杉本 喜正, 迫田 和彰, 舛本泰章. Non-classical Light Generation from Isoelectronic Centers Embedded in Photonic Crystal Microcavities. Recent Progress of Photonic Devices and Materials. 2014
  2. 山田雄太, 張遼, 池沢道男, 武田 寛之, 池田 直樹, 杉本 喜正, 佐久間 芳樹, 迫田 和彰, 舛本泰章. フォトニック結晶共振器に埋め込まれた等電子トラップからの非古典光発生. 第75回応用物理学会秋季学術講演会. 2014
  3. 山田雄太, 張遼, 池沢道男, 武田 寛之, 池田 直樹, 杉本 喜正, 佐久間 芳樹, 迫田 和彰, 舛本泰章. 等電子トラップを埋め込んだフォトニック結晶共振器の光学特性. 日本物理学会 2014年秋季大会. 2014
2013
  1. 津島浩一, 森透, 西村悠希, 菱井一貴, 笠原健一, 家路豊成, 宮崎 英樹, 池田 直樹, 落合 雅幸, 大里 啓孝, 杉本 喜正. 中赤外光スロット・アンテナの膜厚方向での光電界増強の観察. 7th International Congress on Advanced Electromagnetic Materials. 2013
  2. 西村悠希, 森透, 笠原健一, 家路豊成, 宮崎 英樹, 池田 直樹, 杉本 喜正. 中赤外光アンテナの膜厚方向での光電界増強に関する検討. 2013年秋季第74回応用物理学会学術講演会. 2013
  3. 三井 正, 若山 裕, 小野寺 恒信, 林 武, 池田 直樹, 杉本 喜正, 高増 正, 及川 英俊. 膨潤現象によるポリスチレン微小球光導波路の光伝搬係数の向上と光分波効果. 平成25年度九州表面・真空研究会2013(兼第18回九州薄膜表面研究会). 2013
  4. 廖 梅勇, 戸田 雅也, サン リウエン, 井村 将隆, 菱田 俊一, 池田 直樹, 田中秀治, 小出 康夫. Scaling single crystal diamond MEMS/NEMS resonators. 2013 New Diamond and Nanocarbon (NDNC2013) conference. 2013
  5. 津島浩一, 森透, 西村悠希, 菱井一貴, 笠原健一, 家路豊成, 宮崎 英樹, 池田 直樹, 杉本 喜正. 中赤外光スロット・アンテナの膜厚方向での光電界増強. 2013年第60回応用物理学会春季学術講演会. 2013
  6. 久保田 誠, 池田 直樹, 鯉沼 秀臣, 石垣隆正, 角谷 正友. クロロシラン系原料分解における水素ラジカル発生源の検討. 2013年春季第60回応用仏学関係連合講演会. 2013
  7. 松井崇行, 三浦篤志, 藤川久喜, 池田 直樹, 宮崎 英樹, 杉本 喜正. 金属誘電体積層ナノホールの透過位相制御. 2013年第60回応用物理学会春季学術講演会. 2013
  8. 三井 正, 若山 裕, 小野寺 恒信, 林 武, 池田 直樹, 杉本 喜正, 高増 正, 及川 英俊. 分岐型連結ポリスチレン微小球光導波路の光分波効果. 第60回応用物理学会春季学術講演会. 2013
  9. 廖 梅勇, 戸田 雅也, サン リウエン, 井村 将隆, 池田 直樹, 田中秀治, 小出 康夫. 単結晶ダイヤモンド機械共振特性の研究. 2013年 第60回応用物理学会春季学術講演会. 2013
2012
  1. 三井 正, 若山 裕, 小野寺 恒信, 林 武, 池田 直樹, 杉本 喜正, 高増 正, 及川 英俊. Light Splitting Function of Branched Chains Fabricated by Microspheres. The 12th International Symposium on Advanced Organic Photonics. 2012
  2. 廖 梅勇, サン リウエン, 菱田 俊一, 池田 直樹, 井村 将隆, 小泉 聡, 小出 康夫. ダイヤモンド・ナノマシンスイッチの創製. 第25回ダイヤモンドシンポジウム. 2012
  3. 伊藤忠, 黒崎潤一郎 , 宮崎毅, 津谷 大樹, 宮崎 英樹, 池田 直樹, 杉本 喜正, Y. Takeda, T. Motohiro. 赤外検出のためのアンテナ結合Al/Al2O3/Niトンネルダイオード. IUMRS International Conference on Electronic Materials. 2012
  4. 廖 梅勇, 池田 直樹, 小出 康夫, 角谷 正友. Photoeletrical energy-conversion devices based on III-Nitride semiconductors. IUMRS Int'l Conf. on Electronic Materials (IUMRS-ICEM2012). 2012
  5. サン リウエン, 廖 梅勇, 池田 直樹, 角谷 正友, 小出 康夫. 極薄AlN挿入によるInGaN太陽電池特性の向上. 2012年 秋季 第73回応用物理学会学術講演会. 2012
  6. サン リウエン, 廖 梅勇, 池田 直樹, 小出 康夫, 角谷 正友. 極薄AIN挿入によるInGaN太陽電池特性の向上. 第73回応用物理学会学術講演会. 2012
  7. 廖 梅勇, サン リウエン, 池田 直樹, 井村 将隆, 小出 康夫. 単結晶ダイヤモンド・マイクロマシニングの研究. 2012年 秋季 第73回応用物理学会学術講演会. 2012
  8. 三浦篤志, 松井崇行, 池田 直樹, 津谷 大樹, 落合 雅幸, 杉本 喜正, 宮崎 英樹, 尾崎雅則, 萩行正憲, 浅川潔. 積層型ホールアレイアンテナを用いたビーム走査デバイス. 2012年秋季第73回応用物理学会学術講演会. 2012
  9. 津島浩一, 森透, 笠原健一, 池田 直樹, 宮崎 英樹, 杉本 喜正. 中赤外光スロットアンテナの表面増強光学特性. nfo-12. 2012
  10. 廖 梅勇, サン リウエン, 井村 将隆, 池田 直樹, 菱田 俊一, 小出 康夫. Single crystal diamond MEMS/NEMS: surface machining, devices, and simulation. New Diamond and Nano Carbons 2012. 2012
  11. サン リウエン, 廖 梅勇, 池田 直樹, 小出 康夫, 角谷 正友. 室化物半導体による光電エネルギー変換デバイス. Nano Thailand 2012 conference. 2012
  12. 岩長 祐伸, 池田 直樹, 杉本 喜正. 円環孔型プラズモニック結晶における固有モードと増強電磁場. 2012年春季 第59回 応用物理学関係連合講演会. 2012
2011
  1. 三井 正, 若山 裕, 小野寺 恒信, 林 武, 池田 直樹, 杉本 喜正, 高増 正, 及川 英俊. Light Splitting Function of Branched Chains of Microspheres Fabricated by Self-Assembly Process. 2011 MRS Fall Meeting. 2011
  2. 三井 正, 若山 裕, 小野寺恒信, 林 武, 池田 直樹, 杉本 喜正, 高増 正, 及川 英俊. Couple-resonator optical waveguide using self-assembly behavior of micro luminescent balls. 1st Fraunhofer IZM & NIMS Workshop. 2011
  3. 三井 正, 若山 裕, 小野寺 恒信, 林 武, 池田 直樹, 杉本 喜正, 高増 正, 及川 英俊. Light Splitting Function of Branched Coupled Resonator Optical Waveguide Fabricated by Microspheres. International Workshop on Microcavities and Their Applications. 2011
  4. サン リウエン, 廖 梅勇, 池田 直樹, 小出 康夫, 角谷 正友. 極薄AlN挿入によるInGaN太陽電池特性の向上. 5th Asia-Pacific Workshop on Widegap Semiconductors. 2011
  5. サン リウエン, 廖 梅勇, 池田 直樹, 小出 康夫, 角谷 正友. 極薄AlN 挿入によるInGaN 太陽電池特性の向上. 2011年春季 第58回 応用物理学関係連合講演会. 2011
  6. 迫田 和彰, 杉本 喜正, 落合 雅幸, 池田 直樹. 窒素を導入したGaPナノワイヤの結晶成長及び光学特性. 2011年春季 第58回 応用物理学関係連合講演会. 2011
2010
  1. 後藤 敦, 瀧澤 智恵子, 加藤 誠一, 大木 忍, 端 健二郎, 清水 禎, 池田 直樹, 杉本 喜正. 光ポンピングされた半導体内の超偏極核スピンの制御. The International Chemical Congress of Pacific Basin Societies. 2010
  2. 松井崇行, 三浦篤志, 野村壮史, 井上大介, 藤川久喜, 佐藤和夫, 池田 直樹, 津谷 大樹, 杉本 喜正, 宮崎 英樹, 浅川潔, 尾崎雅則, 萩行正憲. ナノホール・アンテナ構造ビーム走査素子. 2010 MRS Fall Meeting. 2010
  3. 間野 高明, 池田 直樹, 落合 哲行, 杉本 喜正, 迫田 和彰, 浅川 潔. Multimodal resonance in photonic crystal defect cavities incorporating GaAs quantum dots. Nanophotonics 2010. 2010
  4. 尾崎信彦, 高田賀章, 北川嘉則, 池田 直樹, 中村滋, 大河内俊介, 渡邊晃, 渡辺 慶規, 杉本 喜正, 浅川 潔. フォトニック結晶導波路と2波長量子ドットからなる全光フリップ・フロップの作製と評価. The International Conference on Nanophotonics 2010. 2010
  5. 井上大介, 野村壮史, 藤川久喜, 佐藤和夫, 池田 直樹, 津谷 大樹, 杉本 喜正, 小出 康夫, 浅川 潔. 表面プラズモン共鳴によるアルミホールアレイRGBカラーフィルタの光学特性. THE INTERNATIONAL CONFERENCE ON NANOPHOTONICS 2010. 2010
  6. 瀧澤 智恵子, 後藤 敦, 端 健二郎, 清水 禎, 大木 忍, 加藤 誠一, 池田 直樹, 杉本 喜正. 半導体における動的核偏極技術の開発. 第47回固体NMR・材料フォーラム. 2010
2009
  1. 瀧澤 智恵子, 加藤 誠一, 後藤 敦, 池田 直樹, 杉本 喜正. 陽極酸化法を用いた半導体基板の表面微細加工. 平成21年度NIMSナノ計測センター研究成果発表会 - 公開セミナー. 2009
  2. 三井 正, 若山 裕, 小野寺 恒信, 林 武, 池田 直樹, 杉本 喜正, 高増 正, 及川 英俊. Siパターニング基板上の微小球光導波路における光分波特性. 第29回表面科学学術講演会. 2009
  3. 加藤 誠一, 後藤 敦, 瀧澤 智恵子, 池田 直樹, 杉本 喜正. ポーラスアルミナをマスクに用いたInPのドライエッチング. 2009年秋季 第70回 応用物理学会 学術講演会. 2009
  4. 黒田 隆, 間野 高明, Belhadj Thomas, アバルキ マルコ, C. Mastrandrea, M. Gurioli, B. Urbaszek, T. Amand, X. Marie, 池田 直樹, 杉本 喜正, 浅川 潔, 迫田 和彰, 小口 信行. Quantum statistics of correlated two photons with biexciton-exciton cascades: saturation effect. 14th Int. Conf. on Modulated Semiconductors (MSS14). 2009
  5. 石井 真史, 池田 直樹, 津谷 大樹, 櫻井 健次. 二段階プロセスで成膜したイットリア薄膜の結晶性とフッ素系ハロゲンプラズマ耐性. 第26回希土類討論会. 2009
  6. 池田 直樹, 津谷 大樹, 杉本 喜正, 小出 康夫, 浅川 潔, 三浦篤志, 井上大介, 野村壮史, 藤川久喜, 佐藤和夫. アルミニウムナノホールアレイの表面プラズモンによる異常透過現象の解析. PECS VIII. 2009
  7. 石井 真史, 池田 直樹, 津谷 大樹, 櫻井 健次. 二段階プロセスによるY2O3薄膜の堆積とそのハロゲンプラズマ耐性. 2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会. 2009
  8. 黒田 隆, 間野 高明, 池田 直樹, 杉本 喜正, Belhadj Thomas, アバルキ マルコ, M.Gurioli, 浅川 潔, 迫田 和彰. 量子ドット2励起子カスケードにおける光子相関の飽和効果. 2009年春季第56回応用物理学関係連合講演会. 2009
  9. 廖 梅勇, ファン シャオシェン, 池田 直樹, 杉本 喜正, 小出 康夫. Fabrication of Diamond Field Emitter Coated with Tungsten Carbide. The 4th IEEE-NEMS International Conference. 2009
2008
  1. 尾崎信彦, 高田賀章, 大河内俊介, 池田 直樹, 渡辺慶規, 杉本 喜正, 浅川潔. 全光デジタル・フリップ・フロップ素子のための2波長InAs量子ドットの選択成長. 15th International Conference on Molecular Beam Epitaxy, 2008. 2008
  2. 浅川潔, 中村滋, 渡邊晃, 池田 直樹, 渡辺慶規, 尾崎信彦, 大河内俊介, 杉本 喜正. ナノフォトニクスベースの全光フリップ・フロップ素子の設計と作製. International Conference on Photonics in Switching 2008. 2008
  3. 迫田 和彰, 黒田 隆, 間野 高明, 落合 哲行, 黒田 圭司, 池田 直樹, 杉本 喜正, 大河内, 浅川潔, 小口 信行. Controlled emission lifetime of GaAs quantum dots embedded in photonicNA. The seventeenth annual International Laser Physics Workshop. 2008
  4. 杉本 喜正, 尾崎信彦, 渡辺慶規, 池田 直樹, 大河内俊介, 黒田 隆, 間野 高明, 落合 哲行, 黒田 圭司, 迫田 和彰, 浅川潔. ナノフォトニクスの新展開〜集積・超高速論理素子と量子情報応用〜. ナノオプティクス研究グループ. 第17回研究討論会. 2008
  5. 迫田 和彰, 黒田 隆, 間野 高明, 落合 哲行, 黒田 圭司, 小口 信行, 池田 直樹, 杉本 喜正, 大河内, 浅川潔. Purcell effect of GaAs quantum dots in photonic crystal microcavities. The OSA topical conference on nanophotonics 2008. 2008
  6. 黒田 隆, 池田 直樹, 間野 高明, 落合 哲行, 黒田 圭司, 杉本 喜正, 迫田 和彰, 浅川潔. フォトニック結晶欠陥共振器に埋め込まれた量子ドットの光学応答II. 日本物理学会第63回年次大会. 2008
  7. 中村滋, 渡邊晃, 王暁民, 池田 直樹, 尾崎信彦, 渡辺慶規, 杉本 喜正, 浅川潔. 極微小対称マッハ・ツェンダー型全光スイッチの組み合わせによる光フリップ・フロップ素子. OFC/NFOEC 2008. 2008
  8. 尾崎信彦, 北川嘉則, 高田賀章, 池田 直樹, 渡辺慶規, 大河内俊介, 水谷彰夫, 杉本 喜正, 浅川潔. 量子ドットを組み込んだフォトニック結晶導波路の光非線形による信号パルスの連続的な位相シフト. SPIE Photonics West 2008. 2008

その他の文献 TSV

2008
  1. Nobuhiko Ozaki, Shunsuke Ohkouchi, Yoshimasa Sugimoto, Naoki Ikeda, Kiyoshi Asakawa. Area-selective and Site-controlled InAs Quantum-dot Growth Techniques for Photonic Crystal-based Ultra-small Integrated Circuit. Self-assembled quantum dots:Lecture Notes in Nanoscale Science and Technology. 1 (2008) 405-420 10.1007/978-0-387-74191-8_13
  2. Kiyoshi Asakawa, Nobuhiko Ozaki, Shunsuke Ohkouchi, Yoshimasa Sugimoto, Naoki Ikeda. Advanced Growth Techniques of InAs-system Quantum Dots for Integrated Nanophotonic Circuits. Handbook of Self Assembled Semiconductor Nanostructures for Novel Devices in Photonics and Electronics. (2008) 529-551 10.1016/b978-0-08-046325-4.00017-7

特許 TSV

登録特許
  1. 特許第5741888号 光学フィルタ及び表示装置 (2015)
公開特許出願
  1. No: US20200249185 乾湿応答センサー (2020)
  2. No: EP3677904 乾湿応答センサー (2020)
  3. 特開2020009884号 半導体装置、半導体装置の使用方法およびその半導体装置の製造方法 (2020)
  4. No: WO2019044640 乾湿応答センサー (2019)
外国特許

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