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GaN/HfSiOx/PtキャパシタでGaN/HfSiOx界面が電気特性に及ぼす影響

前田 瑛里香, 生田目 俊秀, 廣瀨 雅史, 井上 万里, 池田 直樹, 塩崎宏司, 清野肇.
第80回応用物理学会秋季学術講演会. 2019年09月18日-2019年09月21日.

NIMS著者


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    作成時刻: 2019-10-02 03:00:25 +0900 更新時刻: 2019-10-02 03:00:25 +0900

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