- Address
- 305-0044 茨城県つくば市並木1-1 [アクセス]
研究内容
- Keywords
原子層堆積技術、トランジスタ、メモリ、薄膜物性評価
出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。
論文
- IROKAWA, Yoshihiro, MITSUISHI, Kazutaka, NABATAME, Toshihide, KIMOTO, Koji, KOIDE, Yasuo. Investigation of intermediate layers in oxides/GaN(0001) by electron microscopy. JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. 57 [11] (2018)
- Characteristics of Several High-k Gate Insulators for GaN Power Device. ECS Transactions. (2019) 109-117 10.1149/09204.0109ecs
- 上殿明良, Marcel Dickmann, Werner Egger, 生田目 俊秀, Christoph Hugenschmidt, 石橋章司. 陽電子消滅を用いたAl2O3/GaN の空隙・空孔型欠陥の評価. Positron sciences. 15 (2020) 11-16
書籍
会議録
- Kazunori Kurishima, Toshihide Nabatame, Takashi Onaya, Kazuhito Tsukagoshi, Akihiko Ohi, Naoki Ikeda, Takahiro Nagata, Atsushi Ogura. Suppression of threshold voltage shift on In-Si-O-C Thin-Film Transistor with an Al2O3 Passivation Layer under Negative and Positive Gate-Bias Stress. Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM). (2019) 10.1109/edtm.2019.8731167
- Toshihide Nabatame. Trapping mechanism of charge trap capacitor with Al2O3/High-k/Al2O3 multilayer. ECS transactions. (2017) 131-138 10.1149/07901.0131ecst
- Thang Duy Dao, Satoshi Ishii, Kai Chen, Takahiro Yokoyama, Toshihide Nabatame, Tadaaki Nagao. Aluminum infrared plasmonic perfect absorbers for wavelength selective devices. SPIE Proceedings . (2016) 10.1117/12.2238514
口頭発表
- 女屋 崇, 生田目 俊秀, 森田 行則, 太田 裕之, 右田 真司, 喜多 浩之, 長田 貴弘, 塚越 一仁, 松川 貴. TiN下部電極の表面酸化による強誘電体TiN/HfxZr1−xO2/TiNキャパシタの分極疲労の抑制. 第28回電子デバイス界面テクノロジー研究会. 2023
- 澤田 朋実, 生田目 俊秀, 高橋 誠, 伊藤 和博, 女屋 崇, 色川 芳宏, 小出 康夫, 塚越 一仁. GaN(0001)基板上でのアモルファスGa2O3膜の熱処理による高配向結晶成長. 第28回 電子デバイス界面テクノロジー研究会. 2023
- Fumikazu Mizutani, Makoto Mizui, Nobutaka Takahashi, INOUE, Mari, NABATAME, Toshihide. Plasma-enhanced atomic layer deposition of zinc oxide thin films using a liquid cyclopentadienyl-based precursor and oxygen plasma. MNC 2022, 35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference. 2022
その他の文献
- 津谷 大樹, 渡辺 英一郎, 生田目 俊秀. NIMSが提供するマスクレス露光プロセス技術. 金属. 87 [12] (2017) 1033-1038
- DAO, Duy Thang, CHEN, Kai, ISHII, Satoshi, OHI, Akihiko, NABATAME, Toshihide, KITAJIMA, Masahiro, NAGAO, Tadaaki. Aluminum Infrared Plasmonic Perfect Absorbers Fabricated by Colloidal Lithography. Proceedings of CLEO-PR 2015. (2015) 25E3_7-1-25E3_7-2
特許
- 特許第6292507号 水素拡散障壁を備える半導体デバイス及びその製作方法 (2018)
- 特許第6252903号 薄膜トランジスタおよびその製造方法 (2017)
- 特許第7162833号 半導体装置の製造方法 (2022)
- 特開2012060055号 ゲート電極及びその製造方法 (2012)
- 特開2015103677号 薄膜トランジスタ及びその製造方法 (2015)
- 特開2015144173号 薄膜トランジスタの構造、薄膜トランジスタの製造方法および半導体装置 (2015)
所属学会
IEEE, 応用物理学会