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生田目 俊秀
Address
305-0044 茨城県つくば市並木1-1 [アクセス]

研究内容

Keywords

原子層堆積技術、トランジスタ、メモリ、薄膜物性評価

出版物原則として、2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。

特許

所属学会

IEEE, 応用物理学会

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