Pt/Al2O3/β-Ga2O3 MOSキャパシタの熱処理温度による電気特性の変化
(Change of the electrical properties as a function of annealing temperarure for )
第80回応用物理学会秋季学術講演. 2019.
NIMS著者
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作成時刻: 2019-10-03 03:00:17 +0900更新時刻: 2019-10-03 03:00:17 +0900