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著者名佐久間 芳樹, 池田 直樹, 大竹 晃浩, 間野 高明.
タイトルWOCl4をプリカーサに用いたWS2単層膜のガス原料CVD
(Gas source CVD of WS2 monolayer using WOCl4 as precursor)
会議名第79回応用物理学会秋季学術講演会
発表年2018
言語Japanese
外部での文献参照

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