Al2O3絶縁膜を用いたn-GaN及びn-β-Ga2O3キャパシタの電気特性の比較
(Comparisons of electrical properties of n-GaN and n-β-Ga2O3 capacitors with Al2O3 insulator )
第24回電子デバイス界面テクノロジー研究会. 2019.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2019-10-05 03:00:22 +0900更新時刻: 2019-10-05 03:00:22 +0900