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外部併任先
研究内容
- Keywords
コンビナトリアル、半導体、酸化物、金属、集積回路
出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。
研究論文
- Yoshiyuki Yamashita, Takahiro Nagata, Toyohiro Chikyow, Ryu Hasunuma, Kikuo Yamabe. Spectroscopic Observation of the Interface States at the SiO<sub>2</sub>/4H-SiC(0001) Interface. e-Journal of Surface Science and Nanotechnology. 17 [0] (2019) 56-60 10.1380/ejssnt.2019.56
- Takahiro Nagata, Oliver Bierwagen, Zbigniew Galazka, Shigenori Ueda, Masataka Imura, Yoshiyuki Yamashita, Toyohiro Chikyow. Photoelectron spectroscopic study on electronic state and electrical properties of SnO2 single crystals. Japanese Journal of Applied Physics. 58 [8] (2019) 080903 10.7567/1347-4065/ab2c1e
- Takahiro Nagata, Oliver Bierwagen, Zbigniew Galazka, Masataka Imura, Shigenori Ueda, Yoshiyuki Yamashita, Toyohiro Chikyow. Photoelectron spectroscopic study of electronic states and surface structure of an in situ cleaved In2O3 (111) single crystal. Japanese Journal of Applied Physics. 58 [SD] (2019) SDDG06 10.7567/1347-4065/ab0ff0
書籍
- 知京 豊裕, 吉武 道子, 関口 隆史. 半導体・電子材料界面の構築. 第3版 現代界面コロイド化学の基礎. 2009 , 211-212
- 知京 豊裕. 高誘電体ナノ材料. ナノテクノロジー大事典. 2003 , 90-97
- 知京 豊裕. 界面研究と電子デバイス開発. 機能材料（シーエムシー 社）. 2001 , 45-56
会議録
- KAWAKITA, Jin, CHIKYOW, Toyohiro. Conductive Polymer/Metal Composite for Flexible Interconnect. Proceedings of ICICDT & 4S 2016. 2016, 9999-1-9999-4
- NAGATA, Takahiro, YAMASHITA, Yoshiyuki, YOSHIKAWA, Hideki, K. Kobayashi, CHIKYOW, Toyohiro. Photoelectron Spectroscopic Study on High-k Dielectrics Based Nanoionics-Type ReRAM Structure under Bias Operation. ECS TRANSACTIONS. 2014, 301-310
- UMEZAWA, Naoto, Kenji Shiraishi , Yasushi Akasaka, Seiji Inumiya, Akira Uedeno , Seiichi Miyazaki , CHIKYOW, Toyohiro, OHNO, Takahisa, Yasuo Nara, Keisaku Yamada . Reduction in Oxygen Vacancy Formation Energy Caused by Nitrogen Incorporation in Hf-based High-k Gate Dielectrics. SISC ABSTRACT. 2005, 8.3-8.3
口頭発表
- 山下 良之, 知京 豊裕, Julius Santillan, Toshiro Itani. Reaction Mechanism of Zr Metal Resist. 31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference. 2018
- CHEN, Jun, SEKIGUCHI, Takashi, FUKATA, Naoki, TAKASE, Masami, NEMOTO, Yoshihiro, Ryu Hasunuma, Kikuo Yamabe, Motoyuki Sato, Keisaku Yamada, CHIKYOW, Toyohiro. EBIC and TEM Investigations of Current Leakage Sites in High-k Gate Stacks. MANA International Symposium 2010. 2010
- 知京豊裕, 長田貴弘, 梅澤直人, 吉武道子, 大毛利健治, 山田啓作, MIKKLIPPMAA, 鯉沼秀臣. Landscape of Combinatorial Materials Exploration and Materials Informatics. MRS Fall Meeting 2007. 2007
特許
- 特許第5682880号 ナノ結晶粒子分散液と電子デバイス並びにその製造方法 (2015)
- 特許第5077919号 真空蒸着装置 (2012)
- 特許第5022596号 ポリアセン化合物及びその製造方法、並びにそれを用いた有機電子デバイス (2012)
第二期開発予定
第二期開発予定