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- Address
- 305-0044 茨城県つくば市並木1-1 [アクセス]
研究内容
- Keywords
コンビナトリアル、半導体、酸化物、金属、集積回路
出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。
論文
- 柳生 進二郎, 吉武 道子, 知京 豊裕, 長田 貴弘. 機械学習を用いた光電子収量分光（PYS）の閾値予測の測定データを用いた検証. 表面と真空. 62 [8] (2019) 504-510 10.1380/vss.62.504
- 柳生 進二郎, 吉武 道子, 知京 豊裕, 長田 貴弘. 機械学習による光電子収量分光（PYS）スペクトルの自動閾値予測. 表面と真空. 63 [6] (2020) 270-276 10.1380/vss.63.270
- Yoshiyuki Yamashita, Takahiro Nagata, Toyohiro Chikyow, Ryu Hasunuma, Kikuo Yamabe. Spectroscopic Observation of the Interface States at the SiO2/4H-SiC(0001) Interface. e-Journal of Surface Science and Nanotechnology. 17 [0] (2019) 56-60 10.1380/ejssnt.2019.56
書籍
- 知京 豊裕, 木野 日織, 小山 幸典. マテリアルズインフォマティクスの動向. ㈱シーエムシー･リサーチ, 2020, 11.
- 長田 貴弘, 知京 豊裕. Combinatorial Synthesis Applied to the Development of Thin Film Materials for Nano-electronics. CRC Press, 2021, 20.
- HAYAKAWA, Ryoma, CHIKYO, Toyohiro, WAKAYAMA, Yutaka. Quantum Molecular Devices Toward Large-Scale Integration. NIMS Monographs: System-Materials Nanoarchitectonics. Springer Nature, 2022, 15.
会議録
- KAWAKITA, Jin, CHIKYOW, Toyohiro. Conductive Polymer/Metal Composite for Filling of TSV. ECS TRANSACTIONS. (2017) 205-214
- KAWAKITA, Jin, CHIKYOW, Toyohiro. Polymer / Metal Composite for Flexible Interconnect. Proceedings of ICEP2017. (2017) 359-362
- NAGATA, Takahiro, YAMASHITA, Yoshiyuki, YOSHIKAWA, Hideki, CHIKYOW, Toyohiro. Hard X-ray Photoelectron Spectroscopic Study on High-k Dielectrics Based Resistive random access memory. ECS TRANSACTIONS. (2017) 39-47
口頭発表
- 成 浩, 宝賀 剛, 上田 茂典, 小椋 厚志, 知京 豊裕, 長田 貴弘. (GaxIn1-x)2O3 固溶体によるβ-Ga2O3 型結晶薄膜の欠陥・電子状態制御の検討. 第59回日本電子材料技術協会秋期講演大会. 2022
- NAGATA, Takahiro, MORITA, Masaya, Okkyun Seo, GUEYE, Ibrahima, 石橋 啓次, 高橋 健一郎, Atsushi Ogura, CHIKYO, Toyohiro. Study on effects of Zn solid solution on defects and electronic structure of MnS buffer layer for nonpolar AlN growth by hard x-ray photoelectron spectroscopy. 35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference. 2022
- Yuya Suemoto, Yoshihiro Ueoka, Masami Mesuda, SANG, Liwen, NAGATA, Takahiro, CHIKYO, Toyohiro. Internal stress and polarity control of GaN film by low impurity GaN target. International Workshop on Nitride Semiconductors. 2022
その他の文献
- 早川 竜馬, 知京 豊裕, 若山 裕. 機能性分子を量子ドットに用いた共鳴トンネルデバイス. Molecular Electronics and Bioelectronics 応用物理学会 有機分子・バイオエレクトロニクス分科会 会誌. (2018) 68-71
- 室町 英治, 藤田 高弘, 藤田 大介, 村川 健作, 山内 泰, 三石 和貴, 川喜多 磨美子, 岩井 秀夫, 大久保 忠勝, 川喜多 仁, 北澤 英明, 木本 浩司, クスタンセ オスカル, 倉橋 光紀, 後藤 敦, 坂口 勲, 坂田 修身, 櫻井 健次, 張 晗, 篠原 正, 清水 禎, 清水 智子, 志波 光晴, 鈴木 拓, 関口 隆史, 丹所 正孝, 知京 豊裕, 長田 貴弘, 野口 秀典, 端 健二郎, 宝野 和博, 柳生 進二郎, 山下 良之, 吉川 元起, 吉川 英樹, 吉武 道子, 渡邉 賢, 渡邊 誠. 材料イノベーションを加速する先進計測テクノロジーの現状と動向 物質・材料研究のための先進計測テクノロジー. 調査分析室レポートNIMS-RAO-FY2016-3 [ISBN] 978-4-9900563-7-7. 1 (2016) 42-51
- 室町 英治, 藤田 高弘, 藤田 大介, 村川 健作, 山内 泰, 三石 和貴, 川喜多 磨美子, 岩井 秀夫, 大久保 忠勝, 川喜多 仁, 北澤 英明, 木本 浩司, クスタンセ オスカル, 倉橋 光紀, 後藤 敦, 坂口 勲, 坂田 修身, 櫻井 健次, 張 晗, 篠原 正, 清水 禎, 清水 智子, 志波 光晴, 鈴木 拓, 関口 隆史, 丹所 正孝, 知京 豊裕, 長田 貴弘, 野口 秀典, 端 健二郎, 宝野 和博, 柳生 進二郎, 山下 良之, 吉川 元起, 吉川 英樹, 渡邉 賢, 渡邊 誠. 材料イノベーションを加速する先進計測テクノロジーの現状と動向. 調査分析室レポート. (2016) 73-89
特許
- 特許第6292507号 水素拡散障壁を備える半導体デバイス及びその製作方法 (2018)
- 特許第4189842号 薄膜素子の製造方法 (2008)
- 特許第3507891号 誘電体薄膜ならびに強誘電体メモリおよび集積回路 (2004)
- 特開2008218827号 半導体装置及びコンデンサ (2008)
- 特開2008081809号 真空蒸着装置 (2008)
- 特開2006199682号 ポリアセン化合物及びその製造方法、並びにそれを用いた有機電子デバイス (2006)