- Address
- 305-0044 茨城県つくば市並木1-1 [アクセス]
- プロフィール
- 研究概要
- タグクラウド
- 人のつながり
外部併任先
研究内容
- Keywords
コンビナトリアル、半導体、酸化物、金属、集積回路
出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。
研究論文
- Yoshiyuki Yamashita, Toyohiro Chikyow, Julius Joseph Santillan, Toshiro Itani. Reaction mechanism of ZrOx metal resists with extreme ultraviolet irradiation. JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. (2019) SDDC01-1-SDDC01-4 10.7567/1347-4065/ab0542
- Kazuyoshi Kobashi, Ryoma Hayakawa, Toyohiro Chikyow, Yutaka Wakayama. Multi-Valued Logic Circuits Based on Organic Anti-ambipolar Transistors. Nano Letters. 18 [7] (2018) 4355-4359 10.1021/acs.nanolett.8b01357
- Takashi Onaya, Toshihide Nabatame, Tomomi Sawada, Kazunori Kurishima, Naomi Sawamoto, Akihiko Ohi, Toyohiro Chikyow, Atsushi Ogura. Improved leakage current properties of ZrO 2 /(Ta/Nb)O x -Al 2 O 3 /ZrO 2 nanolaminate insulating stacks for dynamic random access memory capacitors. Thin Solid Films. 655 (2018) 48-53 10.1016/j.tsf.2018.02.010
書籍
- CHIKYOW, Toyohiro, YOSHITAKE, Michiko, SEKIGUCHI, Takashi. 半導体・電子材料界面の構築. 第3版 現代界面コロイド化学の基礎. 2009 , 211-212
- CHIKYOW, Toyohiro. 高誘電体ナノ材料. ナノテクノロジー大事典. 2003 , 90-97
- CHIKYOW, Toyohiro. 界面研究と電子デバイス開発. 機能材料（シーエムシー 社）. 2001 , 45-56
会議録
- KAWAKITA, Jin, CHIKYOW, Toyohiro. Conductive Polymer/Metal Composite for Flexible Interconnect. Proceedings of ICICDT & 4S 2016. 2016, 9999-1-9999-4
- NAGATA, Takahiro, YAMASHITA, Yoshiyuki, YOSHIKAWA, Hideki, K. Kobayashi, CHIKYOW, Toyohiro. Photoelectron Spectroscopic Study on High-k Dielectrics Based Nanoionics-Type ReRAM Structure under Bias Operation. ECS TRANSACTIONS. 2014, 301-310
- UMEZAWA, Naoto, Kenji Shiraishi , Yasushi Akasaka, Seiji Inumiya, Akira Uedeno , Seiichi Miyazaki , CHIKYOW, Toyohiro, OHNO, Takahisa, Yasuo Nara, Keisaku Yamada . Reduction in Oxygen Vacancy Formation Energy Caused by Nitrogen Incorporation in Hf-based High-k Gate Dielectrics. SISC ABSTRACT. 2005, 8.3-8.3
口頭発表
- 山下 良之, 知京 豊裕, Julius Santillan, Toshiro Itani. Reaction Mechanism of Zr Metal Resist. 31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference. 2018
- CHEN, Jun, SEKIGUCHI, Takashi, FUKATA, Naoki, TAKASE, Masami, NEMOTO, Yoshihiro, Ryu Hasunuma, Kikuo Yamabe, Motoyuki Sato, Keisaku Yamada, CHIKYOW, Toyohiro. EBIC and TEM Investigations of Current Leakage Sites in High-k Gate Stacks. MANA International Symposium 2010. 2010
- 知京豊裕, 長田貴弘, 梅澤直人, 吉武道子, 大毛利健治, 山田啓作, MIKKLIPPMAA, 鯉沼秀臣. Landscape of Combinatorial Materials Exploration and Materials Informatics. MRS Fall Meeting 2007. 2007
特許
- 特許第5682880号 ナノ結晶粒子分散液と電子デバイス並びにその製造方法 (2015)
- 特許第5077919号 真空蒸着装置 (2012)
- 特許第5022596号 ポリアセン化合物及びその製造方法、並びにそれを用いた有機電子デバイス (2012)
第二期開発予定
第二期開発予定