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研究内容
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コンビナトリアル、半導体、酸化物、金属、集積回路
出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。
研究論文
- Yoshiyuki Yamashita, Takahiro Nagata, Toyohiro Chikyow, Ryu Hasunuma, Kikuo Yamabe. Spectroscopic Observation of the Interface States at the SiO<sub>2</sub>/4H-SiC(0001) Interface. e-Journal of Surface Science and Nanotechnology. 17 [0] (2019) 56-60 10.1380/ejssnt.2019.56
- Shinjiro YAGYU, Michiko YOSHITAKE, Toyohiro CHIKYOW, Takahiro NAGATA. 機械学習を用いた光電子収量分光（PYS）の閾値予測の 測定データを用いた検証. Vacuum and Surface Science. 62 [8] (2019) 504-510 10.1380/vss.62.504
- Toru Nakamura, Ryosuke Kikuchi, Yoshiyuki Yamashita, Takashi Kuroda, Toyohiro Chikyow, Yasushi Kaneko. Evaluation of Band Alignment of SrNbO2N Using Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy. The Journal of Physical Chemistry C. 124 [10] (2020) 5528-5532 10.1021/acs.jpcc.9b10878
書籍
- 知京 豊裕, 吉武 道子, 関口 隆史. 半導体・電子材料界面の構築. 第3版 現代界面コロイド化学の基礎. 2009 , 211-212
- 知京 豊裕. 高誘電体ナノ材料. ナノテクノロジー大事典. 2003 , 90-97
- 知京 豊裕. 界面研究と電子デバイス開発. 機能材料（シーエムシー 社）. 2001 , 45-56
会議録
- KAWAKITA, Jin, CHIKYOW, Toyohiro. Conductive Polymer/Metal Composite for Flexible Interconnect. Proceedings of ICICDT & 4S 2016. 2016, 9999-1-9999-4
- NAGATA, Takahiro, YAMASHITA, Yoshiyuki, YOSHIKAWA, Hideki, K. Kobayashi, CHIKYOW, Toyohiro. Photoelectron Spectroscopic Study on High-k Dielectrics Based Nanoionics-Type ReRAM Structure under Bias Operation. ECS TRANSACTIONS. 2014, 301-310
- UMEZAWA, Naoto, Kenji Shiraishi , Yasushi Akasaka, Seiji Inumiya, Akira Uedeno , Seiichi Miyazaki , CHIKYOW, Toyohiro, OHNO, Takahisa, Yasuo Nara, Keisaku Yamada . Reduction in Oxygen Vacancy Formation Energy Caused by Nitrogen Incorporation in Hf-based High-k Gate Dielectrics. SISC ABSTRACT. 2005, 8.3-8.3
口頭発表
- YAMASHITA, Yoshiyuki, CHIKYOW, Toyohiro, Julius Santillan, Toshiro Itani. Reaction Mechanism of Zr Metal Resist. 31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference. 2018
- CHEN, Jun, SEKIGUCHI, Takashi, FUKATA, Naoki, TAKASE, Masami, NEMOTO, Yoshihiro, Ryu Hasunuma, Kikuo Yamabe, Motoyuki Sato, Keisaku Yamada, CHIKYOW, Toyohiro. EBIC and TEM Investigations of Current Leakage Sites in High-k Gate Stacks. MANA International Symposium 2010. 2010
- CHIKYOW, Toyohiro, NAGATA, Takahiro, UMEZAWA, Naoto, YOSHITAKE, Michiko, 大毛利健治, 山田啓作, MIKKLIPPMAA, 鯉沼秀臣. Landscape of Combinatorial Materials Exploration and Materials Informatics. MRS Fall Meeting 2007. 2007
特許
- 特許第5682880号 ナノ結晶粒子分散液と電子デバイス並びにその製造方法 (2015)
- 特許第5077919号 真空蒸着装置 (2012)
- 特許第5022596号 ポリアセン化合物及びその製造方法、並びにそれを用いた有機電子デバイス (2012)
第二期開発予定
第二期開発予定