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研究内容
- Keywords
コンビナトリアル、半導体、酸化物、金属、集積回路
出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。
研究論文
- S. Takahashi, N. Koguchi, T. Chikyow, T. Kiyosawa, J. Fujiwara, K. Yoshihara. Pbs/PbSrS multi-quantum well laser emitting in the mid-infrared wavelength region. Electronics Letters. 26 [20] (1990) 1715 10.1049/el:19901095
- Nobuyuki Koguchi, Satoshi Takahashi, Toyohiro Chikyow. New MBE growth method for InSb quantum well boxes. Journal of Crystal Growth. 111 [1-4] (1991) 688-692 10.1016/0022-0248(91)91064-h
- Toyohiro Chikyow, Satoshi Takahashi, Nobuyuki Koguchi. Surface structure dependence of GaAs microcrystals size grown by As-incorporation into Ga droplets. Surface Science. 267 [1-3] (1991) 241-244 10.1016/0039-6028(92)91129-y
書籍
会議録
- CHIKYOW, Toyohiro, Ahmet parhat, 鯉田崇, 高倉雅博, 中島清美, 吉本護, 鯉沼秀臣. Combinatorial methodology for optimizing oxide/Si interface structure with atomic interfacial layer. Proceedings of SPIE: , -
- 岡崎紀明, parhat.ahmet, CHIKYOW, Toyohiro, hiroyuki.odagawa, 福村知昭, yasuo.cho, 川崎雅司, makoto.ohtani, 鯉沼秀臣, 長谷川哲也. development of scanning microwave microscope for high-throughput characterization of combinatorial dielectric thin film. mrs proceeding-combinatorial and artificial intelligence methonds in materials science-vol.700 , -
- CHIKYOW, Toyohiro, パールハット=アヘメト, 中島清美, 成毛環美, JeongHwan Song, 鯉田 崇, 鯉沼秀臣. Combinatorial Synthesis Approarch for Optimizing Oxide/Si Interface for the Future LSI. MRS Proceedings , -
口頭発表
- CHEN, Jun, SEKIGUCHI, Takashi, FUKATA, Naoki, TAKASE, Masami, NEMOTO, Yoshihiro, Ryu Hasunuma, Kikuo Yamabe, Motoyuki Sato, Keisaku Yamada, CHIKYOW, Toyohiro. EBIC and TEM Investigations of Current Leakage Sites in High-k Gate Stacks. MANA International Symposium 2010. 2010
- 生田目 俊秀, 大井 暁彦, 伊藤和博, 高橋誠, 知京 豊裕. Characteristics of charge trap flash memory with Al2O3/(Ta/Nb)Ox/Al2O3 multi-layer. 225th ECS Meeting. 2014
- NAGATA, Takahiro, VOLK, Janos, PARHAT, AHMET, YOSHITAKE, Michiko, CHIKYOW, Toyohiro. Combinatorial synthesis of Pt-based Binary-alloy Schottky Contacts on ZnO by a Combinatorial Ion Beam Sputtering. 4th International Workshop on Combinatorial Materials Science an. 2006
特許
- 特許第5682880号 ナノ結晶粒子分散液と電子デバイス並びにその製造方法 (2015)
- 特許第5077919号 真空蒸着装置 (2012)
- 特許第5022596号 ポリアセン化合物及びその製造方法、並びにそれを用いた有機電子デバイス (2012)
第二期開発予定
第二期開発予定