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研究内容
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コンビナトリアル、半導体、酸化物、金属、集積回路
出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。
研究論文
- Takashi Onaya, Toshihide Nabatame, Tomomi Sawada, Kazunori Kurishima, Naomi Sawamoto, Akihiko Ohi, Toyohiro Chikyow, Atsushi Ogura. Improved leakage current properties of ZrO 2 /(Ta/Nb)O x -Al 2 O 3 /ZrO 2 nanolaminate insulating stacks for dynamic random access memory capacitors. Thin Solid Films. 655 (2018) 48-53 10.1016/j.tsf.2018.02.010
- Shinjiro YAGYU, Michiko YOSHITAKE, Toyohiro CHKYOW. Determination of Threshold of Photoelectron Yield Spectroscopy (PYS) Using Machine Learning. Vacuum and Surface Science. 61 [4] (2018) 196-199 10.1380/vss.61.196
- Michiko YOSHITAKE, Isao KUWAJIMA, Shinjiro YAGYU, Toyohiro CHIKYOW. System for Searching Relationship among Physical Properties for Materials Curation<sup>TM</sup>. Vacuum and Surface Science. 61 [4] (2018) 200-205 10.1380/vss.61.200
書籍
- 知京 豊裕, 吉武 道子, 関口 隆史. 半導体・電子材料界面の構築. 第3版 現代界面コロイド化学の基礎. 2009 , 211-212
- 知京 豊裕. 高誘電体ナノ材料. ナノテクノロジー大事典. 2003 , 90-97
- 知京 豊裕. 界面研究と電子デバイス開発. 機能材料（シーエムシー 社）. 2001 , 45-56
会議録
- KAWAKITA, Jin, CHIKYOW, Toyohiro. Conductive Polymer/Metal Composite for Flexible Interconnect. Proceedings of ICICDT & 4S 2016 2016, 9999-1-9999-4
- NAGATA, Takahiro, YAMASHITA, Yoshiyuki, YOSHIKAWA, Hideki, K. Kobayashi, CHIKYOW, Toyohiro. Photoelectron Spectroscopic Study on High-k Dielectrics Based Nanoionics-Type ReRAM Structure under Bias Operation. ECS TRANSACTIONS 2014, 301-310
- UMEZAWA, Naoto, Kenji Shiraishi , Yasushi Akasaka, Seiji Inumiya, Akira Uedeno , Seiichi Miyazaki , CHIKYOW, Toyohiro, OHNO, Takahisa, Yasuo Nara, Keisaku Yamada . Reduction in Oxygen Vacancy Formation Energy Caused by Nitrogen Incorporation in Hf-based High-k Gate Dielectrics. SISC ABSTRACT 2005, 8.3-8.3
口頭発表
- CHEN, Jun, SEKIGUCHI, Takashi, FUKATA, Naoki, TAKASE, Masami, NEMOTO, Yoshihiro, Ryu Hasunuma, Kikuo Yamabe, Motoyuki Sato, Keisaku Yamada, CHIKYOW, Toyohiro. EBIC and TEM Investigations of Current Leakage Sites in High-k Gate Stacks. MANA International Symposium 2010. 2010
- 生田目 俊秀, 大井 暁彦, 伊藤和博, 高橋誠, 知京 豊裕. Characteristics of charge trap flash memory with Al2O3/(Ta/Nb)Ox/Al2O3 multi-layer. 225th ECS Meeting. 2014
- NAGATA, Takahiro, VOLK, Janos, PARHAT, AHMET, YOSHITAKE, Michiko, CHIKYOW, Toyohiro. Combinatorial synthesis of Pt-based Binary-alloy Schottky Contacts on ZnO by a Combinatorial Ion Beam Sputtering. 4th International Workshop on Combinatorial Materials Science an. 2006
特許
- 特許第5682880号 ナノ結晶粒子分散液と電子デバイス並びにその製造方法 (2015)
- 特許第5077919号 真空蒸着装置 (2012)
- 特許第5022596号 ポリアセン化合物及びその製造方法、並びにそれを用いた有機電子デバイス (2012)
第二期開発予定
第二期開発予定