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著者名Chieko TAKIZAWA, Seiichi KATO, Atsushi GOTO, Hideaki KITAZAWA, Naoki IKEDA, Yoshimasa SUGIMOTO.
タイトルFabrication of a porous alumina mask on the large surface area of a semi-insulating semiconductor substrate
掲載誌名Journal of the Ceramic Society of Japan 121 [1414] 516-519
ISSN: 13486535 18820743
発表年2013
言語English
ESIでのカテゴリ
DOIhttps://doi.org/10.2109/jcersj2.121.516
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