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著者名廖 梅勇, サン リウエン, 池田 直樹, 井村 将隆, 小出 康夫.
タイトル単結晶ダイヤモンド・マイクロマシニングの研究
(Investigation of single crystal diamond micromachining)
会議名2012年 秋季 第73回応用物理学会学術講演会
発表年2012
言語Japanese
外部での文献参照

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