- Address
- 305-0044 茨城県つくば市並木1-1 [アクセス]
研究内容
- Keywords
Semiconductor Diamond, MEMS/NEMS, electronics, photoelectronics, devices physics
Novel MEMS/NEMS devices, Sensors, Field-effect transistors, Detectors, Devices Physics
出版物原則として、2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。
論文
- Kongping Wu, Leng Zhang, Danbei Wang, Fangzhen Li, Pengzhan Zhang, Liwen Sang, Meiyong Liao, Kun Tang, Jiandong Ye, Shulin Gu. A comparative study of interfacial thermal conductance between metal and semiconductor. Scientific Reports. 12 [1] (2022) 19907 10.1038/s41598-022-24379-z
- Yasuo KOIDE, Meiyong LIAO, Masataka IMURA. ダイヤモンドを用いた光・電子デバイスの開発. Journal of Smart Processing. 2 [5] (2013) 224-229 10.7791/jspmee.2.224
- サン リウエン, 廖 梅勇. GaN 基板上ダイヤモンド膜の成長と放熱性向上. New diamond. (2022) 25-27
書籍
- Bo Shen, Zhanguo Wang, LIAO, Meiyong, Ultra-wide Bandgap Semiconductor Materials. Elsevier, 2019
- LIAO, Meiyong, KOIDE, Yasuo, SANG, Liwen. Single Crystal Diamond Micromechanical and Nanomechanical Resonators. Springer International Publishing, 2019
- LIAO, Meiyong, Xiaohui Chang, Zhangcheng Liu, Hongxing Wang, KOIDE, Yasuo. Solar-blind deep-ultraviolet detectors. Elsevier, 2019
会議録
- Z. Zhang, L. Sang, H. Wu, J. Huang, L. Wang, S. Koizumi, Y. Kodie, M. Liao. Galfenol-Ti-Diamond Multilayer MEMS Resonator for Magnetic Sensor Working up to 773 K. IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM). (2019) 10.1109/iedm19573.2019.8993533
- Ioana Voiculescu, Masaya Toda, Meiyong Liao, Takahito Ono. Pico-thermogravimetric material properties analysis using diamond cantilever beam. Proceedings of Transducers 2017. (2017) 10.1109/transducers.2017.7994519
- IMURA, Masataka, BANAL, Ganipan Ryan, LIAO, Meiyong, LIU, Jiangwei, AIZAWA, Takashi, TANAKA, Akihiro, IWAI, Hideo, MANO, Takaaki, KOIDE, Yasuo. Effect of off-cut angle of hydrogen-terminated diamond(111) substrate on the quality of AlN towards high-density AlN/diamond(111). DIAMOND AND RELATED MATERIALS. (2017)
口頭発表
- 陳 果, ZHANG, Zilong, 顧 克云, KOIZUMI, Satoshi, Zhaohui Huang, LIAO, Meiyong. Effect of Energy Dissipation in Higher-Order Resonance on SCD MEMS Cantilevers Toward High f·Q. 2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会. 2023
- ZHANG, Zilong, 陳 果, 顧 克云, KOIDE, Yasuo, KOIZUMI, Satoshi, LIAO, Meiyong. Effect of magnetostrictive film thickness for enhancing magnetic sensing performance of diamond MEMS resonator. 2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会. 2023
- LIU, Jiangwei, 岡村 雅之, 増子 尚徳, IMURA, Masataka, LIAO, Meiyong, 菊地 諒介, 鈴鹿 みちお, KOIDE, Yasuo. Deposition and mechanism study for super-high dielectric constant AlOx/TiOy nanolaminates. 6th International Conference on MATERIALS SCIENCE & NANOTECHNOLOGY. 2023
その他の文献
- 廖 梅勇, ジャン ジロン, 小出 康夫, 小泉 聡. ダイヤモンド MEMS磁気センサ. New diamond. (2020) 21-23
- Hong-Xing Wang, Chengming Li, Hongdong Li, Meiyong Liao, Zhenhui Kang, Nianjun Yang, Ping Yang. 10th International Conference on New Diamond and Nano Carbons – NDNC 2016. Diamond and Related Materials. (2017) A1 10.1016/j.diamond.2017.03.003
- 井村 将隆, 廖 梅勇, 小出 康夫. 窒化アルミニウム／ダイヤモンドヘテロ接合を用いた電界効果トランジスタ. NEW DIAMOND. 28 [2] (2012) 36-38
特許
- 特許第6713167号 トリプルゲートＨ－ダイヤモンドＭＩＳＦＥＴ及びその製造方法 (2020)
- 特許第7195539号 半導体装置、パワーデバイスおよび制御用電子装置 (2022)
- 特許第4677634号 ダイヤモンド紫外線センサー素子 (2011)
- 特開2007066976号 ダイヤモンド紫外線センサー (2007)
- 特開2007139424号 ダイヤモンド紫外線センサー素子 (2007)
- 特開2009188222号 ダイヤモンド紫外線センサー素子とその製造方法、並びに紫外線センサー装置 (2009)
所属学会
応用物理学会 (2004)
受賞履歴
- Outstanding poster award, 2nd conference on NDNC2008 (New Diamond and Nano Carbons) ()