HOME > 口頭発表 > 書誌詳細Different growth mechanism of SiO2 layer on various High-k films by PE-ALD using Tris(dimethylamino)silane and oxygen plasma生田目 俊秀, 井上 万里, 高橋誠, 伊藤和博, 池田 直樹, 大井 暁彦. 18th International Conference on Atomic Layer Deposition. 2018.NIMS著者生田目 俊秀池田 直樹大井 暁彦Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2018-02-20 22:07:43 +0900更新時刻: 2018-06-05 14:18:23 +0900