表面処理方法がβ-Ga2O3/Al2O3/Pt MOSキャパシタの電気特性へ及ぼす影響
(Influence of surface cleaning on electrical characteristics of β-Ga2O3/Al2O3/Pt MOS capacitors)
第79回応用物理学会秋季学術講演会. 2018.
NIMS著者
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作成時刻: 2018-07-01 16:43:06 +0900更新時刻: 2018-07-01 16:43:06 +0900