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著者名LIAO, Meiyong, Masaya Toda, SANG, Liwen, IMURA, Masataka, HISHITA, Shunichi, IKEDA, Naoki, Shuji Tanaka, KOIDE, Yasuo.
タイトルScaling single crystal diamond MEMS/NEMS resonators
会議名2013 New Diamond and Nanocarbon (NDNC2013) conference
発表年2013
言語English
外部での文献参照

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