HOME > Presentation > Detail(Scaling single crystal diamond MEMS/NEMS resonators)廖 梅勇, 戸田 雅也, サン リウエン, 井村 将隆, 菱田 俊一, 池田 直樹, 田中秀治, 小出 康夫. 2013 New Diamond and Nanocarbon (NDNC2013) conference. 2013.NIMS author(s)LIAO, MeiyongSANG, LiwenIMURA, MasatakaHISHITA, ShunichiIKEDA, NaokiKOIDE, YasuoFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2017-02-14 11:37:46 +0900Updated at: 2017-07-10 21:37:00 +0900