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菱田 俊一
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305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1 [アクセス]
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研究内容

Keywords

機能材料・デバイス 薄膜・表面界面物性 イオンビーム

出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。

書籍
会議録
口頭発表
特許
  • 特許第4441605号 半導体基板とその製造方法 (2010)
  • 特許第6256939号 芳香族アミン吸着剤、それを用いた水晶振動子ガスセンサ、および、これらの製造方法 (2017)
  • 特許第6164733号 表面観測用試料冷却装置及び表面観測装置 (2017)
第二期開発予定
第二期開発予定

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