オキシクロライドCVDによるMoS2成膜過程へのO2添加効果
(Effect of O2 adding to MoS2 growth process by Oxychloride CVD)
第82回応用物理学会秋季学術講演会. 2021.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-01-06 03:26:50 +0900更新時刻: 2022-01-06 03:26:50 +0900