HOME > 論文 > 書誌詳細Development and irradiation performance of stencil masks for heavy-ion patterned implantationB. Zheng, N. Iketa, K. Sato, R. Sato, M. Song, Y. Takeda, H. Amekura, K. Oyoshi, K. Kono, D. Ila, N. Kishimoto. Surface and Coatings Technology 206 [5] 806-811. 2011.https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2011.04.023 NIMS著者サトウ ロドリーゴ武田 良彦雨倉 宏大吉 啓司河野 健一郎岸本 直樹Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2016-05-24 16:22:02 +0900 更新時刻: 2025-04-19 04:59:09 +0900
