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Development and irradiation performance of stencil masks for heavy-ion patterned implantation

B. Zheng, N. Iketa, K. Sato, R. Sato, M. Song, Y. Takeda, H. Amekura, K. Oyoshi, K. Kono, D. Ila, N. Kishimoto.
Surface and Coatings Technology 206 [5] 806-811. 2011.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻 :2016-05-24 16:22:02 +0900 更新時刻 :2020-11-16 22:54:09 +0900

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