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河野 健一郎
Address
305-0047 茨城県つくば市千現1-2-1 [アクセス]

研究内容

Keywords

Siフォトニクス、光通信

出版物原則として、2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。

会議録
口頭発表
特許
  • 特許第3610372号 負イオン照射・同時蒸着による膜形成方法とその装置 (2004)
  • 特開2001140056号 負イオン照射・同時蒸着による膜形成方法とその装置 (2001)

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