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PDA雰囲気ガスがn-β-Ga2O3/Al2O3/Pt MOSキャパシタの電気特性へ及ぼす影響
(Influence of PDA ambient gas on characteristics of n-β-Ga2O3/Al2O3/Pt MOS capacitors)

著者廣瀨 雅史, 生田目 俊秀, 前田 瑛里香, 大井 暁彦, 池田 直樹, 色川 芳宏, 小出 康夫, 清野肇.
会議名第67回応用物理学会春季学術講演会
発表年2020
言語Japanese

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