HOME > Presentation > DetailPDA雰囲気ガスがn-β-Ga2O3/Al2O3/Pt MOSキャパシタの電気特性へ及ぼす影響(Influence of PDA ambient gas on characteristics of n-β-Ga2O3/Al2O3/Pt MOS capacitors)廣瀨 雅史, 生田目 俊秀, 前田 瑛里香, 大井 暁彦, 池田 直樹, 色川 芳宏, 小出 康夫, 清野肇. 第67回応用物理学会春季学術講演会. March 12, 2020-March 15, 2020.NIMS author(s)NABATAME, ToshihideOHI, AkihikoIKEDA, NaokiIROKAWA, YoshihiroFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2020-09-26 03:00:22 +0900 Updated at: 2020-09-26 03:00:22 +0900