Pt触媒効果により酸素欠陥及び酸素を導入したAl2O3膜の特性
(Characteristics of Al2O3 film by introducing additional oxygen and oxygen vacancy using Pt catalytic effect)
APS March Meeting. 2017年03月13日-2017年03月17日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2018-09-27 11:29:32 +0900 更新時刻: 2018-09-27 11:29:32 +0900