Pt触媒効果により酸素欠陥及び酸素を導入したAl2O3膜の特性
(Characteristics of Al2O3 film by introducing additional oxygen and oxygen vacancy using Pt catalytic effect)
APS March Meeting. 2017年03月13日-2017年03月17日.
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作成時刻: 2018-09-27 11:29:32 +0900更新時刻: 2018-09-27 11:29:32 +0900