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NIMS Awardシンポジウム2026

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Amorphous Si waveguides with high-quality stacked gratings for multi-layer Si optical circuits
(多層シリコン光回路のための高品質積層グレーティングを有するアモルファス・シリコン導波路)

H. Tokushige, T. Endo, K. Saiki, K. Hiidome, S. Kitamura, T. Katsuyama, M. Tokuda, H. Takagi, M. Morita, Y. Ito, K. Tsutsui, Y. Wada, N. Ikeda, Y. Sugimoto.
Photonics and Nanostructures - Fundamentals and Applications 12 [5] 501-507. 2014.
https://doi.org/10.1016/j.photonics.2014.08.003

NIMS著者

    Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット

      作成時刻: 2016-05-24 17:34:05 +0900 更新時刻: 2026-10-08 05:19:45 +0900

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