Amorphous Si waveguides with high-quality stacked gratings for multi-layer Si optical circuits
(多層シリコン光回路のための高品質積層グレーティングを有するアモルファス・シリコン導波路)
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Created at: 2016-05-24 17:34:05 +0900 Updated at: 2026-11-09 05:19:17 +0900
