Amorphous Si waveguides with high-quality stacked gratings for multi-layer Si optical circuits
(多層シリコン光回路のための高品質積層グレーティングを有するアモルファス・シリコン導波路)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 17:34:05 +0900更新時刻: 2024-04-02 03:27:31 +0900