Air及びN2雰囲気のバイアスストレスによるアモルファスCarbon-doped In2O3TFTのトランジスタ特性 |

Air及びN2雰囲気のバイアスストレスによるアモルファスCarbon-doped In2O3TFTのトランジスタ特性
(Characteristics of amorphous carbon-doped In2O3 TFT under bias stress in air and N2)

著者	小林陸, 生田目俊秀, 女屋崇, 大井暁彦, 池田直樹, 長田貴弘, 塚越一仁, 小椋厚志.
会議名	第81回応用物理学会秋季学術講演会
発表年	2020
言語	Japanese