- Address
- 305-0044 茨城県つくば市並木1-1 [アクセス]
研究内容
- Keywords
コンビナトリアル、酸化物半導体、電子デバイス
出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。
論文
- Yoshiyuki Yamashita, Takahiro Nagata, Toyohiro Chikyow, Ryu Hasunuma, Kikuo Yamabe. Spectroscopic Observation of the Interface States at the SiO2/4H-SiC(0001) Interface. e-Journal of Surface Science and Nanotechnology. 17 [0] (2019) 56-60 10.1380/ejssnt.2019.56
- 柳生 進二郎, 吉武 道子, 知京 豊裕, 長田 貴弘. 機械学習による光電子収量分光（PYS）スペクトルの自動閾値予測. 表面と真空. 63 [6] (2020) 270-276 10.1380/vss.63.270
- 柳生 進二郎, 吉武 道子, 知京 豊裕, 長田 貴弘. 機械学習を用いた光電子収量分光（PYS）の閾値予測の測定データを用いた検証. 表面と真空. 62 [8] (2019) 504-510 10.1380/vss.62.504
書籍
- 長田 貴弘, 知京 豊裕. Combinatorial Synthesis Applied to the Development of Thin Film Materials for Nano-electronics. CRC Press, 2021, 20.
- 長田 貴弘. スマートラボによる薄膜材料開発とデータ連携. データ駆動型材料開発～オントロジーとマイニング、計測と実験装置の自動制御～. NTS, 2021, 10.
- 松波 成行, 長田 貴弘, 吉川 英樹. 第6章第4節：IoTを活用したデータアーキテクチャ： 2D-XRD法による半導体材料開発への応用. 技術情報協会, 2021, 8.
会議録
- Kazunori Kurishima, Toshihide Nabatame, Takashi Onaya, Kazuhito Tsukagoshi, Akihiko Ohi, Naoki Ikeda, Takahiro Nagata, Atsushi Ogura. Suppression of threshold voltage shift on In-Si-O-C Thin-Film Transistor with an Al2O3 Passivation Layer under Negative and Positive Gate-Bias Stress. Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM). (2019) 10.1109/edtm.2019.8731167
- NAGATA, Takahiro, YAMASHITA, Yoshiyuki, YOSHIKAWA, Hideki, CHIKYOW, Toyohiro. Hard X-ray Photoelectron Spectroscopic Study on High-k Dielectrics Based Resistive random access memory. ECS TRANSACTIONS. (2017) 39-47
- NAGATA, Takahiro, YAMASHITA, Yoshiyuki, YOSHIKAWA, Hideki, K. Kobayashi, CHIKYOW, Toyohiro. Photoelectron Spectroscopic Study on High-k Dielectrics Based Nanoionics-Type ReRAM Structure under Bias Operation. ECS TRANSACTIONS. (2014) 301-310 10.1149/06102.0jolecs
口頭発表
- 女屋 崇, 生田目 俊秀, 森田 行則, 太田 裕之, 右田 真司, 喜多 浩之, 長田 貴弘, 塚越 一仁, 松川 貴. TiN下部電極の表面酸化による強誘電体TiN/HfxZr1−xO2/TiNキャパシタの分極疲労の抑制. 第28回電子デバイス界面テクノロジー研究会. 2023
- 成 浩, 宝賀 剛, 上田 茂典, 小椋 厚志, 知京 豊裕, 長田 貴弘. (GaxIn1-x)2O3 固溶体によるβ-Ga2O3 型結晶薄膜の欠陥・電子状態制御の検討. 第59回日本電子材料技術協会秋期講演大会. 2022
- 柳生 進二郎, 吉武 道子, 長田 貴弘, 安田 剛, 桑島 功, 劉雨彬, 中島嘉之. 光電子収量分光(PYS)データベースの構築. 2022年度 実用表面分析講演会 PSA-22 (Symposium on Practical Surface Analysis 2022). 2022
その他の文献
- MUROMACHI, Eiji, FUJITA, Takahiro, FUJITA, Daisuke, MURAKAWA, Kensaku, YAMAUCHI, Yasushi, MITSUISHI, Kazutaka, KAWAKITA, Mamiko, IWAI, Hideo, OHKUBO, Tadakatsu, KAWAKITA, Jin, KITAZAWA, Hideaki, KIMOTO, Koji, CUSTANCE, Oscar, KURAHASHI, Mitsunori, GOTO, Atsushi, SAKAGUCHI, Isao, SAKATA, Osami, SAKURAI, Kenji, ZHANG, Han, SHINOHARA, Tadashi, SHIMIZU, Tadashi, SHIMIZU, Tomoko, SHIWA, Mitsuharu, SUZUKI, Taku, SEKIGUCHI, Takashi, TANSHO, Masataka, CHIKYOW, Toyohiro, NAGATA, Takahiro, NOGUCHI, Hidenori, HASHI, Kenjiro, HONO, Kazuhiro, YAGYU, Shinjiro, YAMASHITA, Yoshiyuki, YOSHIKAWA, Genki, YOSHIKAWA, Hideki, YOSHITAKE, Michiko, WATANABE, Ken, WATANABE, Makoto. 材料イノベーションを加速する先進計測テクノロジーの現状と動向 物質・材料研究のための先進計測テクノロジー. 調査分析室レポートNIMS-RAO-FY2016-3 [ISBN] 978-4-9900563-7-7. 1 (2016) 42-51
- MUROMACHI, Eiji, FUJITA, Takahiro, FUJITA, Daisuke, MURAKAWA, Kensaku, YAMAUCHI, Yasushi, MITSUISHI, Kazutaka, KAWAKITA, Mamiko, IWAI, Hideo, OHKUBO, Tadakatsu, KAWAKITA, Jin, KITAZAWA, Hideaki, KIMOTO, Koji, CUSTANCE, Oscar, KURAHASHI, Mitsunori, GOTO, Atsushi, SAKAGUCHI, Isao, SAKATA, Osami, SAKURAI, Kenji, ZHANG, Han, SHINOHARA, Tadashi, SHIMIZU, Tadashi, SHIMIZU, Tomoko, SHIWA, Mitsuharu, SUZUKI, Taku, SEKIGUCHI, Takashi, TANSHO, Masataka, CHIKYOW, Toyohiro, NAGATA, Takahiro, NOGUCHI, Hidenori, HASHI, Kenjiro, HONO, Kazuhiro, YAGYU, Shinjiro, YAMASHITA, Yoshiyuki, YOSHIKAWA, Genki, YOSHIKAWA, Hideki, WATANABE, Ken, WATANABE, Makoto. 材料イノベーションを加速する先進計測テクノロジーの現状と動向. 調査分析室レポート. (2016) 73-89
- NAGATA, Takahiro, SAKUMA, Yoshiki, SEKIGUCHI, Takashi, CHIKYOW, Toyohiro. 集束イオンビームＣＶＤ法によるＧａＮ立体構造の作製と評価. BULLETIN OF THE JAPAN ELECTRONIC MATERIALS SOCIETY(日本電子材料技術協会会報). 37 (2006) 37-39
特許
- 特許第6371171号 強誘電体キャパシタおよび電子デバイス (2018)
- 特許第6887655号 ビスマス系誘電体用電極及びキャパシタ (2021)
- 特許第6955748号 ＭＩＳ型半導体装置およびその製造方法 (2021)
- 特開2009256766号 ｓｐ３−結合性ＢＮ高密度相を有するＢＮ薄膜およびその製造方法。 (2009)
- 特開2014010154号 表面増強ラマン分光分析用（ＳＥＲＳ）基板、その製造方法、それを用いたバイオセンサおよびそれを用いたマイクロ流路デバイス (2014)
- 特開2016044350号 誘電体薄膜 (2016)
所属学会
応用物理学会