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NIMS材料技術展示会2023 - NIMS Technology Showcase2023 10/11

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オキシクロライドCVD法によるサファイア基板上WS2のリモート触媒成長
(Remote catalytic growth of WS2 on sapphire substrates by Oxychloride CVD)

著者佐久間 芳樹, 楊 旭, 池田 直樹.
会議名第83回応用物理学会秋季学術講演会
発表年2022
言語Japanese

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