オキシクロライドCVD法によるサファイア基板上WS2のリモート触媒成長
(Remote catalytic growth of WS2 on sapphire substrates by Oxychloride CVD)
第83回応用物理学会秋季学術講演会. 2022.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2022-10-15 03:23:22 +0900更新時刻: 2022-10-15 03:23:22 +0900