HOME > 口頭発表 > 詳細オキシクロライドCVD法によるサファイア基板上WS2のリモート触媒成長(Remote catalytic growth of WS2 on sapphire substrates by Oxychloride CVD)著者佐久間 芳樹, 楊 旭, 池田 直樹. 会議名第83回応用物理学会秋季学術講演会発表年2022言語Japanese