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著者名佐久間 芳樹, 李 世勝, 池田 直樹, 大竹 晃浩.
タイトルガス原料CVDを用いたTMDC単層膜成長におけるガラス基板の効果
(Impact of Glass Substrates on TMDC Monolayers Growth by Gas-Source CVD)
会議名第80回応用物理学会秋季学術講演会
発表年2019
言語Japanese
外部での文献参照

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