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著者名Kazumasa Ishida, Nobuhiko Ozaki, Hirotaka Ohsato, Eiichiro Watanabe, Naoki Ikeda, Yoshimasa Sugimoto.
タイトルNon-destructive and non-contact measurement of semiconductor optical waveguide using optical coherence tomography with a visible broadband light source
掲載誌名Japanese Journal of Applied Physics 57 8S2 08PE03
ISSN: 00214922 13474065
発表年2018
言語English
DOI10.7567/jjap.57.08pe03
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