二段階プロセスで成膜したイットリア薄膜の結晶性とフッ素系ハロゲンプラズマ耐性
(Crystallinity and fluoride-plasma-resistance of yttria thin film grown by two-step process)
第26回希土類討論会. 2009.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:15:45 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:30:19 +0900