SAMURAI - NIMS Researchers Database

NIMS一般公開2024

HOME > 口頭発表 > 書誌詳細

Importance of Annealing Step on Dielectric Constant of ZrO2 Layer of MIM Capacitors with Al2O3/ZrO2 and ZrO2/Al2O3 Stack Structures

240th ECS Meeting / https://www.electrochem.org/240/. 2021年10月10日-2021年10月14日.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻: 2021-10-28 03:35:36 +0900更新時刻: 2021-10-28 03:35:36 +0900

    ▲ページトップへ移動