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著者名生田目 俊秀, 色川 芳宏, 大井 暁彦, 池田 直樹, サン リウエン, 小出 康夫, 大石知司.
タイトルAl2O3/n-GaNキャパシタの自然酸化膜層が電気特性へ及ぼす影響
(Influence of native oxide layer on electrical characteristics of Al2O3/n-GaN capacitors)
会議名シリコン材料・デバイス研究会 (SDM)
発表年2018
言語Japanese
外部での文献参照

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