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- 305-0044 茨城県つくば市並木1-1 [アクセス]
研究内容
- Keywords
機能材料・デバイス 応用物性・結晶工学 薄膜・表面界面物性 電子デバイス・電子機器 無機材料・物性
出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。
論文
- Mingchao Yang, Takehiro Shimaoka, Liwen Sang, Junichi H. Kaneko, Satoshi Koizumi, Meiyong Liao. Radiation effect of X-ray with 100 kGy dose on the electrical properties of MESFET based on hydrogen-terminated diamond surface conductivity. Functional Diamond. 2 [1] (2022) 40-45 10.1080/26941112.2022.2066481
- Xiulin Shen, Zhenfei Lv, Kimiyoshi Ichikawa, Huanying Sun, Liwen Sang, Zhaohui Huang, Yasuo Koide, Satoshi Koizumi, Meiyong Liao. Stress effect on the resonance properties of single-crystal diamond cantilever resonators for microscopy applications. Ultramicroscopy. 234 (2022) 113464 10.1016/j.ultramic.2022.113464
- Xiulin Shen, Huanying Sun, Liwen Sang, Masataka Imura, Yasuo Koide, Satoshi Koizumi, Meiyong Liao. Integrated TbDyFe Film on a Single‐Crystal Diamond Microelectromechanical Resonator for Magnetic Sensing. physica status solidi (RRL) – Rapid Research Letters. 15 [9] (2021) 2100352 10.1002/pssr.202100352
書籍
- KOIZUMI, Satoshi. n-Type diamond growth and the semiconducting properties. , 2018
- KOIZUMI, Satoshi, 梅沢 仁, Julien Pernot, 鈴木真理子. Power Electronics Device Applications of Diamond Semiconductors. Woodhead Publishing, Elsevier, 2018
- Toshiharu Makino, KOIZUMI, Satoshi. Nobel diamond devices. Power Electronics Device Applications of Diamond Semiconductors. , 2018, 370-382.
会議録
- Z. Zhang, L. Sang, H. Wu, J. Huang, L. Wang, S. Koizumi, Y. Kodie, M. Liao. Galfenol-Ti-Diamond Multilayer MEMS Resonator for Magnetic Sensor Working up to 773 K. IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM). 2019
- T. Teraji, J. Isoya, K. Watanabe, S. Koizumi, Y. Koide. Homoepitaxial diamond chemical vapor deposition for ultra-light doping. MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING. 2017, 197-202
- SHIMAOKA, Takehiro, TERAJI, Tokuyuki, WATANABE, Kenji, KOIZUMI, Satoshi. Detection of killer defects in diamond by cathodoluminescence. Physica Status solidi (a). 2017, -
口頭発表
- 小泉 聡. ダイヤモンドpin接合形成とその放射線検出器利用. 耐放射線デバイス研究会. 2021
- 廖 梅勇, ジャン ジロン, サン リウエン, 小出 康夫, 小泉 聡. High-temperature Magnetic Sensor Based on Single-crystal Diamond MEMS. 2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会. 2021
- サン フアンイン, SANG, Liwen, ウ ハイファ, TERAJI, Tokuyuki, Jianqiang You, Tiefu Li, KOIZUMI, Satoshi, LIAO, Meiyong. Deep-defects excitation on energy dissipation of single crystal diamond micromechanical resonators. The 14th International Conference on New Diamond and Nano Carbons (NDNC2020/2021) . 2021
その他の文献
- 小泉 聡, 寺地 徳之, 嶋岡 毅紘. NIMSにおけるSIPダイヤモンドパワーエレクトロニクス研究. NEW DIAMOND. (2020) 16-21
- 廖 梅勇, ジャン ジロン, 小出 康夫, 小泉 聡. ダイヤモンド MEMS磁気センサ. New diamond. (2020) 21-23
- 片宗優貴, 森 大地, 和泉 亮, 嶋岡 毅紘, 市川 公善, 小泉 聡. 熱フィラメントCVD 法による（1 1 1）表面への リンドープn 形ダイヤモンド のホモエピタキシャル成長. NEW DIAMOND. (2020) 26-28
特許
- 特許第5077863号 低真空走査型電子顕微鏡を用いた炭素系材料の微細加工方法とその装置 (2012)
- 特許第3051912号 リンドープダイヤモンドの合成法 (2000)
- 特許第3303135号 埋め込み金属層を持つ単結晶ダイヤモンドとその形成方法 (2002)
- 特開2005228886号 深紫外線固体発光素子 (2005)
- 特開2006190578号 低真空走査型電子顕微鏡を用いた炭素系材料の微細加工方法とその装置 (2006)
- 特開2016015429号 プラズマキャビティ用フランジ、プラズマキャビティ及びプラズマＣＶＤ装置 (2016)
所属学会
応用物理学会
受賞履歴
- 第27回先端技術大賞フジサンケイ ビジネスアイ賞（2013） ()