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- 305-0044 茨城県つくば市並木1-1 [アクセス]
研究内容
- Keywords
機能材料・デバイス 応用物性・結晶工学 薄膜・表面界面物性 電子デバイス・電子機器 無機材料・物性
出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。
論文
- KOIZUMI, Satoshi, KATAGIRI, Masayuki, Milos Nesladek, WATANABE, Kenji, KANDA, Hisao. Electrical and photo-voltaic properties of dimaond pn junction. Physica Status Solidi. ()
- Mingchao Yang, Takehiro Shimaoka, Liwen Sang, Junichi H. Kaneko, Satoshi Koizumi, Meiyong Liao. Radiation effect of X-ray with 100 kGy dose on the electrical properties of MESFET based on hydrogen-terminated diamond surface conductivity. Functional Diamond. 2 [1] (2022) 40-45 10.1080/26941112.2022.2066481
- Zilong Zhang, Liwen Sang, Jian Huang, Linjun Wang, Yasuo Koide, Satoshi Koizumi, Meiyong Liao. Enhancement of magnetic sensing performance of diamond resonators coupling with magnetic-strictive FeGa films by various interlayers. Carbon. 200 (2022) 401-409 10.1016/j.carbon.2022.08.086
書籍
- KOIZUMI, Satoshi, 梅沢 仁, Julien Pernot, 鈴木真理子. Power Electronics Device Applications of Diamond Semiconductors. Woodhead Publishing, Elsevier, 2018
- KOIZUMI, Satoshi. n-Type diamond growth and the semiconducting properties. , 2018
- 市川 公善, 寺地 徳之, 小泉 聡. CVD ダイヤモンド中の転位の評価. ラマン分光 スペクトルデータ解析事例集. 技術情報協会, 2022, 9.
会議録
- Z. Zhang, L. Sang, H. Wu, J. Huang, L. Wang, S. Koizumi, Y. Kodie, M. Liao. Galfenol-Ti-Diamond Multilayer MEMS Resonator for Magnetic Sensor Working up to 773 K. IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM). (2019) 10.1109/iedm19573.2019.8993533
- T. Teraji, J. Isoya, K. Watanabe, S. Koizumi, Y. Koide. Homoepitaxial diamond chemical vapor deposition for ultra-light doping. MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING. (2017) 197-202 10.1016/j.mssp.2016.11.012
- SHIMAOKA, Takehiro, TERAJI, Tokuyuki, WATANABE, Kenji, KOIZUMI, Satoshi. Detection of killer defects in diamond by cathodoluminescence. Physica Status solidi (a). (2017) 10.1002/pssa.
口頭発表
- CHEN, Yingling, SANG, Liwen, KOIDE, Yasuo, KOIZUMI, Satoshi, 劉 小晰, LIAO, Meiyong. Air damping effect on the quality factor of single-crystal diamond MEMS resonators. 第83回応用物理学会秋季学術講演会. 2022
- サン フアンイン, SANG, Liwen, KOIDE, Yasuo, KOIZUMI, Satoshi, LIAO, Meiyong. Effect of deep-defects on the energy dissipation of diamond MEMS resonator. 19th International Conference on Defects-Recognition, Imaging and Physics in Semiconductors (DRIP XIX) https://confit.atlas.jp/guide/event/drip19/top. 2022
- CHEN, Yingling, サン フアンイン, SANG, Liwen, KOIDE, Yasuo, KOIZUMI, Satoshi, Xiaoxi Liu, LIAO, Meiyong. Effect of pressure on quality-factor of single-crystal diamond micro cantilevers. 15th International Conference on New Diamond and Nano Carbons (NDNC2022) https://www.ndnc2022.org/index.html. 2022
その他の文献
- 市川 公善, 小泉 聡, 寺地 徳之. ダイヤモンドホモエピタキシャル成長における薄膜 / 基板界面での転位変換. New diamond. (2023) 34-36
- 小泉 聡, 寺地 徳之, 嶋岡 毅紘. NIMSにおけるSIPダイヤモンドパワーエレクトロニクス研究. NEW DIAMOND. (2020) 16-21
- 市川 公善, 嶋岡 毅紘, 加藤 有香子, 小泉 聡, 寺地 徳之. 共焦点ラマンイメージングによるCVDダイヤモンド中の転位評価. New diamond. (2021) 3-8
特許
- 特許第3265363号 マイクロホールを有している金属薄膜の形成方法 (2002)
- 特許第4604172号 ｎ型半導体ダイヤモンド薄膜の合成法 (2010)
- 特許第6341565号 プラズマキャビティ用フランジ、プラズマキャビティ及びプラズマＣＶＤ装置 (2018)
- 特開2005228886号 深紫外線固体発光素子 (2005)
- 特開2006190578号 低真空走査型電子顕微鏡を用いた炭素系材料の微細加工方法とその装置 (2006)
- 特開2016015429号 プラズマキャビティ用フランジ、プラズマキャビティ及びプラズマＣＶＤ装置 (2016)
所属学会
応用物理学会
受賞履歴
- 第27回先端技術大賞フジサンケイ ビジネスアイ賞（2013） ()