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小泉 聡
Address
305-0044 茨城県つくば市並木1-1 [アクセス]

研究内容

Keywords

機能材料・デバイス 応用物性・結晶工学 薄膜・表面界面物性 電子デバイス・電子機器 無機材料・物性

出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。

書籍
口頭発表
特許
  • 特許第3265363号 マイクロホールを有している金属薄膜の形成方法 (2002)
  • 特許第4604172号 n型半導体ダイヤモンド薄膜の合成法 (2010)
  • 特許第6341565号 プラズマキャビティ用フランジ、プラズマキャビティ及びプラズマCVD装置 (2018)
  • 特開2005228886号 深紫外線固体発光素子 (2005)
  • 特開2006190578号 低真空走査型電子顕微鏡を用いた炭素系材料の微細加工方法とその装置 (2006)
  • 特開2016015429号 プラズマキャビティ用フランジ、プラズマキャビティ及びプラズマCVD装置 (2016)

所属学会

応用物理学会

受賞履歴

  • 第27回先端技術大賞フジサンケイ ビジネスアイ賞(2013) ()
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