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KOIZUMI, Satoshi
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305-0044 1-1 Namiki Tsukuba Ibaraki JAPAN [Access]
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Research

Keywords

機能材料・デバイス 応用物性・結晶工学 薄膜・表面界面物性 電子デバイス・電子機器 無機材料・物性

PublicationsNIMS affiliated publications since 2004.

Books
Proceedings
Patents
  • No. 6341565 プラズマキャビティ用フランジ、プラズマキャビティ及びプラズマCVD装置 (2018)
  • No. 5360766 ダイヤモンド半導体デバイス (2013)
  • No. 4604172 n型半導体ダイヤモンド薄膜の合成法 (2010)

Society memberships

応用物理学会

Awards

  • 第27回先端技術大賞フジサンケイ ビジネスアイ賞(2013) ()
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