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HfSiO x 絶縁膜 の GaN パワーデバイス における n GaN/HfSiO x 界面の構造解析

前田 瑛里香, 生田目 俊秀, 堀江 智之, 池田 直樹, 廣瀨 雅史, 井上 万里, 大井 暁彦, 塩崎宏司, 清野肇.
第2回結晶工学×ISYSE合同研究会. 2019-11-20.

NIMS著者


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    作成時刻: 2019-12-06 03:00:21 +0900 更新時刻: 2019-12-06 03:00:21 +0900

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