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著者名HIROSE, Masafumi, NABATAME, Toshihide, YUGE, Kazuya, MAEDA, Erika, OHI, Akihiko, IKEDA, Naoki, IROKAWA, Yoshihiro, IWAI, Hideo, 安福 秀幸, KAWADA, Satoshi, KOIDE, Yasuo.
タイトルInfluence of post-deposition annealing on electrical characteristics of Pt/Al2O3/β-Ga2O3 MOS capacitors
会議名INFOS 2019
発表年2019
言語English
外部での文献参照

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