ナノ結晶ZrO2シード層を用いた厚膜HfxZr1-xO2の強誘電性
(Ferroelectricity of thick HfxZr1-xO2 film using nano-crystal ZrO2 seed layer)
第78回応用物理学会秋季学術講演会. 2017.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-07-08 23:16:46 +0900更新時刻: 2018-06-05 14:10:27 +0900