SAMURAI - NIMS Researchers Database

NIMS Awardシンポジウム2026

HOME > 口頭発表 > 書誌詳細

Ferroelectricity of HfxZr1－xO2 thin films fabricated using TiN stressor layer and ZrO2 nucleation layer

ONAYA, Takashi, NABATAME, Toshihide, 澤本直美, 栗島一徳, OHI, Akihiko, IKEDA, Naoki, NAGATA, Takahiro, 小椋厚志.
AiMES 2018. 2018年09月30日-2018年10月04日.

NIMS著者

Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット

    作成時刻: 2019-03-04 09:36:12 +0900 更新時刻: 2019-03-04 09:36:12 +0900

    ▲ページトップへ移動