SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > 口頭発表 > 書誌詳細

Ferroelectricity of HfxZr1-xO2 thin films fabricated using TiN stressor layer and ZrO2 nucleation layer

ONAYA, Takashi, NABATAME, Toshihide, 澤本直美, 栗島一徳, OHI, Akihiko, IKEDA, Naoki, NAGATA, Takahiro, 小椋厚志.
AiMES 2018. 2018.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻 :2019-03-04 09:36:12 +0900 更新時刻 :2019-03-04 09:36:12 +0900

    ▲ページトップへ移動