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Control of ferroelectric phase formation in HfxZr1−xO2 thin films using nano-ZrO2 nucleation layer technique

著者女屋崇, 生田目俊秀, 澤本直美, 大井暁彦, 池田直樹, 長田貴弘, 小椋厚志.
会議名MANA International Symposium 2021/https://www.nims.go.jp/mana/2021/index.html
発表年2021
言語English

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