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Al2O3/β-Ga2O3スタック構造のPMA効果と界面特性の関係
(Relationship between PMA effect and interface characteristics of Al2O3/β-Ga2O3 stack structure)

廣瀨 雅史, 生田目 俊秀, 前田 瑛里香, 大井 暁彦, 池田 直樹, 色川 芳宏, 小出 康夫, 清野肇.
電子デバイス界面テクノロジー研究会 ー材料・プロセス・デバイス特性の物理ー. 2020年01月31日-2020年02月01日.

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    作成時刻: 2020-03-13 03:00:31 +0900更新時刻: 2020-03-13 03:00:31 +0900

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