Pt触媒効果を用いたALD-Al2O3膜の熱処理雰囲気とVfbシフトの関係
(Correlation between Vfb shift and annealing condition of ALD-Al2O3 film by Pt catalytic effect)
電子デバイス界面テクノロジー研究会. 2017.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-19 04:32:36 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:32:23 +0900