(Single crystal diamond MEMS/NEMS: surface machining, devices, and simulation)
New Diamond and Nano Carbons 2012. 2012年05月20日-2012年05月24日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:00:29 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:22:36 +0900