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著者名LIAO, Meiyong, SANG, Liwen, IMURA, Masataka, IKEDA, Naoki, HISHITA, Shunichi, KOIDE, Yasuo.
タイトルSingle crystal diamond MEMS/NEMS: surface machining, devices, and simulation
会議名New Diamond and Nano Carbons 2012
発表年2012
言語English
外部での文献参照

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