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大島 祐一
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論文 TSV

2020
  1. Yuichi Oshima, Katsuaki Kawara, Takayoshi Oshima, Takashi Shinohe. In-plane orientation control of (001) κ-Ga2O3 by epitaxial lateral overgrowth through a geometrical natural selection mechanism. Japanese Journal of Applied Physics. 59 [11] (2020) 115501 10.35848/1347-4065/abbc57
  2. Katsuaki Kawara, Yuichi Oshima, Mitsuru Okigawa, Takashi Shinohe. Elimination of threading dislocations in α-Ga2O3 by double-layered epitaxial lateral overgrowth. Applied Physics Express. 13 [7] (2020) 075507 10.35848/1882-0786/ab9fc5
  3. Yuichi Oshima, Katsuaki Kawara, Takayoshi Oshima, Mitsuru Okigawa, Takashi Shinohe. Rapid growth of α-Ga2O3 by HCl-boosted halide vapor phase epitaxy and effect of precursor supply conditions on crystal properties. Semiconductor Science and Technology. 35 [5] (2020) 055022 10.1088/1361-6641/ab7843
  4. Yuichi Oshima, Katsuaki Kawara, Takayoshi Oshima, Mitsuru Okigawa, Takashi Shinohe. Phase-controlled epitaxial lateral overgrowth of α-Ga2O3 by halide vapor phase epitaxy. Japanese Journal of Applied Physics. 59 [2] (2020) 025512 10.35848/1347-4065/ab6faf
2019
  1. Elaheh Ahmadi, Yuichi Oshima. Materials issues and devices of α- and β-Ga2O3. Journal of Applied Physics. 126 [16] (2019) 160901 10.1063/1.5123213
  2. Ahmed A.M. El-Amir, Takeo Ohsawa, Yuichi Oshima, Masaru Nakamura, Kiyoshi Shimamura, Naoki Ohashi. IR photoresponse characteristics of Mg2Ge pn-junction photodiodes fabricated by rapid thermal annealing. Journal of Alloys and Compounds. 787 (2019) 578-584 10.1016/j.jallcom.2019.02.147
  3. Zhe (Ashley) Jian, Yuichi Oshima, Shawn Wright, Kevin Owen, Elaheh Ahmadi. Chlorine-based inductive coupled plasma etching of α-Ga2O3. Semiconductor Science and Technology. 34 [3] (2019) 035006 10.1088/1361-6641/aafeb2
  4. Y. Oshima, K. Kawara, T. Shinohe, T. Hitora, M. Kasu, S. Fujita. Epitaxial lateral overgrowth of α-Ga2O3 by halide vapor phase epitaxy. APL Materials. 7 [2] (2019) 022503 10.1063/1.5051058
2018
  1. H. Uchiyama, Y. Oshima, R. Patterson, S. Iwamoto, J. Shiomi, K. Shimamura. Phonon Lifetime Observation in Epitaxial ScN Film with Inelastic X-Ray Scattering Spectroscopy. Physical Review Letters. 120 [23] (2018) 10.1103/physrevlett.120.235901
  2. Sang-Heon Han, Akhil Mauze, Elaheh Ahmadi, Tom Mates, Yuichi Oshima, James S Speck. n-type dopants in (001) β-Ga2O3 grown on (001) β-Ga2O3 substrates by plasma-assisted molecular beam epitaxy. Semiconductor Science and Technology. 33 [4] (2018) 045001 10.1088/1361-6641/aaae56
  3. Yuichi Oshima, Elaheh Ahmadi, Stephen Kaun, Feng Wu, James S Speck. Growth and etching characteristics of (001) β-Ga2O3 by plasma-assisted molecular beam epitaxy. Semiconductor Science and Technology. 33 [1] (2018) 015013 10.1088/1361-6641/aa9c4d
2017
  1. Richard Dronskowski, Shinichi Kikkawa, Andreas Stein. Handbook of Solid State Chemistry. Handbook of Solid State Chemistry (Wiley). 2 (2017) 429-466 10.1002/9783527691036
  2. Elaheh Ahmadi, Onur S. Koksaldi, Xun Zheng, Tom Mates, Yuichi Oshima, Umesh K. Mishra, James S. Speck. Demonstration of β-(Al x Ga1− x )2O3/β-Ga2O3 modulation doped field-effect transistors with Ge as dopant grown via plasma-assisted molecular beam epitaxy. Applied Physics Express. 10 [7] (2017) 071101 10.7567/apex.10.071101
  3. Elaheh Ahmadi, Onur S. Koksaldi, Stephen W. Kaun, Yuichi Oshima, Dane B. Short, Umesh K. Mishra, James S. Speck. Ge doping of β-Ga2O3 films grown by plasma-assisted molecular beam epitaxy. Applied Physics Express. 10 [4] (2017) 041102 10.7567/apex.10.041102
  4. Elaheh Ahmadi, Yuichi Oshima, Feng Wu, James S Speck. Schottky barrier height of Ni toβ-(AlxGa1−x)2O3with different compositions grown by plasma-assisted molecular beam epitaxy. Semiconductor Science and Technology. 32 [3] (2017) 035004 10.1088/1361-6641/aa53a7
2016
  1. Jack E Hogan, Stephen W Kaun, Elaheh Ahmadi, Yuichi Oshima, James S Speck. Chlorine-based dry etching ofβ-Ga2O3. Semiconductor Science and Technology. 31 [6] (2016) 065006 10.1088/0268-1242/31/6/065006
  2. Yuichi Oshima, Elaheh Ahmadi, Stefan C. Badescu, Feng Wu, James S. Speck. Composition determination of β-(AlxGa1−x)2O3layers coherently grown on (010) β-Ga2O3substrates by high-resolution X-ray diffraction. Applied Physics Express. 9 [6] (2016) 061102 10.7567/apex.9.061102
2014
  1. Yuichi Oshima, Encarnación G. Víllora, Kiyoshi Shimamura. Hydride vapor phase epitaxy and characterization of high-quality ScN epilayers. Journal of Applied Physics. 115 [15] (2014) 153508 10.1063/1.4871656
2011
  1. Takehiro Yoshida, Yuichi Oshima, Kazutoshi Watanabe, Tadayoshi Tsuchiya, Tomoyoshi Mishima. Ultrahigh-speed growth of GaN by hydride vapor phase epitaxy. physica status solidi (c). 8 [7-8] (2011) 2110-2112 10.1002/pssc.201000953

書籍 TSV

2017
  1. Richard Dronskowski, Shinichi Kikkawa, Andreas Stein. Handbook of Solid State Chemistry. Handbook of Solid State Chemistry (Wiley). Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, 2017, 429-466. 10.1002/9783527691036

会議録 TSV

口頭発表 TSV

2021
  1. OSHIMA, Yuichi, 河原克明, 大島孝仁, 四戸孝. In-plane orientation control of (001) k-Ga2O3 by epitaxial lateral overgrowth through a geometrical natural selection mechanism. 63rd Electronic Materials Conference (EMC). 2021
2020
  1. 河原克明, OSHIMA, Yuichi, 沖川満, 四戸孝. Elimination of Threading Dislocations in α-Ga2O3 by Double-layered Epitaxial Lateral Overgrowth. The 39th Electronic Materials Symposium 第39回電子材料シンポジウム. 2020
  2. 河原克明, OSHIMA, Yuichi, 沖川満, 四戸孝. Elimination of Threading Dislocations in α-Ga2O3 by Double-layered Epitaxial Lateral Overgrowth. 2020 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2020). 2020
  3. 河原克明, 大島 祐一, 沖川満, 四戸孝. デバイス応用に向けたα-Ga2O3二重ELO膜の平坦化. 第81回応用物理学会秋季学術講演会. 2020
  4. 大島 祐一. ワイドギャップ半導体Ga2O3の準安定相の制御と応用. 第81回応用物理学会秋季学術講演会シンポジウム「多様な安定相のエンジニアリングの新展開 ~環境・エネルギーデバイスと材料の未来~」. 2020
  5. 大島 祐一. ワイドギャップ半導体Ga2O3の安定相の制御. 第67回応用物理学会春季学術講演会シンポジウム「多様な安定相のエンジニアリングによる多元系材料開発の新展開 - 未来材料開拓イニシアチブ 〜環境・エネルギー材料の未来 〜 -」」. 2020
2019
  1. 河原 克明, 大島 祐一, 沖川 満, 四戸 孝, 人羅 俊実. 多段ELOによるα型酸化ガリウム結晶の貫通転位密度の低減. 第80回応用物理学会秋季学術講演会. 2019
  2. OSHIMA, Yuichi. Halide Vapor Phase Epitaxy of Meta-Stable Ga2O3. The 3rd International Workshop on Gallium Oxide and Related Materials (IWGO-3). 2019
  3. OSHIMA, Yuichi. Halide Vapor Phase Epitaxy of alpha-Ga2O3. STAC-11. 2019
  4. OSHIMA, Yuichi. Halide Vapor Phase Epitaxy of meta-stable Ga2O3. CSW2019. 2019
  5. 大島 祐一. 準安定相Ga2O3のハライド気相成長. ワイドギャップ半導体光・電子デバイス第162委員会 第113回 研究会. 2019
2018
  1. 増田 泰久, 金子 健太郎, 大島 祐一, 藤田 静雄, 四戸 孝. 金ナノ粒子上コランダム構造酸化ガリウム薄膜の作製とTEMによる構造評価. 日本材料学会半導体エレクトロニクス部門委員会 平成30年度第2回研究会. 2018
  2. 増田泰久, 金子健太郎, 大島 祐一, 四戸孝, 藤田静雄. 金粒子上α-Ga2O3薄膜の作製. 第79回応用物理学会秋季学術講演会. 2018
  3. YI, Wei, CHEN, Jun, Shun Ito, TANG, Daiming, CHO, Yujin, OSHIMA, Yuichi, SEKIGUCHI, Takashi. Cathodoluminescence study of stacking faults and dislocations in bulk GaN. 19th International Microscopy Congress. 2018
  4. OSHIMA, Yuichi, Katsuaki Kawara, Riena Jinno, Takashi Shinohe, Toshimi Hitora, Makoto Kasu, Shizuo Fujita. Epitaxial Lateral Overgrowth of α-Ga2O3 by Halide Vapor Phase Epitaxy. 60th Electronic Materials Conference (EMC). 2018
  5. OSHIMA, Yuichi, Katsuaki Kawara, Makoto Kasu, Takashi Shinohe, Toshimi Hitora. Ge doping of α-Ga2O3 by Halide Vapor Phase Epitaxy. 60th Electronic Materials Conference (EMC). 2018
  6. 大島 祐一, 河原克明, 嘉数誠, 四戸孝, 人羅俊実, 藤田静雄. HVPEによるα-Ga2O3のGeドーピング. 第65回応用物理学会春季学術講演会. 2018
  7. 大島 祐一, 神野莉衣奈, 河原克明, 四戸孝, 人羅俊実, 嘉数誠, 藤田静雄. HVPEによるα-Ga2O3の選択横方向成長. 第65回応用物理学会春季学術講演会. 2018
2017
  1. VILLORA, Garcia, OSHIMA, Yuichi, SHIMAMURA, Kiyoshi. Halide vapor phase epitaxy of metastable α- and ε-Ga2O3. TCO2017. 2017
  2. 大島 祐一. 準安定相酸化ガリウムのハライド気相成長. 第78回応用物理学会 秋季学術講演会. 2017
  3. 大島 祐一, ビジョラ ガルシア, 島村 清史. HVPEによる準安定相Ga2O3の成長. 日本学術振興会 「結晶成長の科学と技術第161委員会」 第98回研究会. 2017
2013
  1. 大島 祐一, ターケヴィッチ イヴァン, 中村 優, ビジョラ ガルシア, 島村 清史, 川村 史朗. 新しい電子応用結晶材料の開発. 元素戦略プロジェクト<研究拠点形成型> 研究報告会. 2013
  2. 大島 祐一, 中村 優, 色川 芳宏, 正義彦, ビジョラ ガルシア, 島村 清史, 一ノ瀬昇. 昇華法によるAlN単結晶の育成と評価. 第51回セラミックス基礎科学討論会. 2013
2012
  1. OSHIMA, Yuichi, NAKAMURA, Masaru, Yoshihiko Masa, VILLORA, Garcia, SHIMAMURA, Kiyoshi, Noboru Ichinose. Glowth of AlN Single Crystals by Sublimation Method. PRiME2012 : Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid-Sta. 2012
  2. 一ノ瀬昇, 中村 優, 正義彦, 大島 祐一, ビジョラ ガルシア, 島村 清史. 昇華法によるAlN単結晶の成長. 第29回強誘電体応用会議(FMA29). 2012

その他の文献 TSV

2011
  1. 大島 祐一. バンドギャップエンジニアリングにおける結晶成長技術. バンドギャップエンジニアリング-次世代高効率デバイスへの挑戦-. (2011) 89-99

特許 TSV

登録特許
  1. 特許第6842128号 α-Ga2O3単結晶の製造装置 (2021)
  2. 特許第6618216号 α-Ga2O3単結晶、α-Ga2O3の製造方法、および、それを用いた半導体素子 (2019)
  3. 特許第6436538号 ε-Ga2O3単結晶、ε-Ga2O3の製造方法、および、それを用いた半導体素子 (2018)
  4. 特許第6422159号 α-Ga2O3単結晶、α-Ga2O3の製造方法、および、それを用いた半導体素子 (2018)
  5. 特許第6143145号 β-Ga2O3単結晶層の製造方法、β―Ga2O3単結晶層付きサファイア基板、β―Ga2O3自立単結晶及びその製造方法 (2017)
  6. 特許第6083096号 結晶成長方法および結晶成長装置 (2017)
公開特許出願
  1. No: 2021/044845 結晶膜、結晶膜を含む半導体装置、及び結晶膜の製造方法 (2021)
  2. No: 2020/171147 GaN結晶および基板 (2020)
  3. 特開2020001997号 結晶膜の製造方法 (2020)
  4. 特開2019163200号 結晶膜の製造方法 (2019)
  5. 特開2019034883号 結晶膜の製造方法 (2019)
  6. 特開2019034882号 結晶膜の製造方法 (2019)
  7. 特開CN109423690A号 結晶膜の製造方法 (2019)
  8. 特開CN109423694A号 結晶膜の製造方法 (2019)
  9. 特開CN109423693A号 結晶膜の製造方法 (2019)
  10. 特開CN109423691A号 結晶膜の製造方法 (2019)
  11. No: 2015/147101 β-Ga2O3単結晶膜の製造方法、β―Ga2O3単結晶膜付きサファイア基板、β―Ga2O3自立単結晶及びその製造方法 (2015)
  12. No: WO2013/151045 結晶成長方法および結晶成長装置 (2013)
外国特許
  1. No. JP2016155714A α-Ga2O3 SINGLE CRYSTAL, PRODUCTION METHOD OF α-Ga2O3, AND SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE SAME (2016)
  2. No. WO2013151045A1 CRYSTAL GROWTH METHOD AND CRYSTAL GROWTH APPARATUS (2013)

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