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Hydride vapor phase epitaxy and characterization of high-quality ScN epilayers

著者Yuichi Oshima, Encarnación G. Víllora, Kiyoshi Shimamura.
掲載誌名Journal of Applied Physics 115 [15] 153508
ISSN: 00218979, 10897550
ESIでのカテゴリ: PHYSICS
出版社AIP Publishing
発表年2014
言語English
DOIhttps://doi.org/10.1063/1.4871656
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