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関口 隆史
Address
305-0044 茨城県つくば市並木1-1 [アクセス]

研究内容

Keywords

応用物性・結晶工学

出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。

会議録
その他の文献
特許
  • 特許第5077863号 低真空走査型電子顕微鏡を用いた炭素系材料の微細加工方法とその装置 (2012)
  • 特許第5294238号 電子素子 (2013)
  • 特許第5464429号 四角形の断面を有する単結晶シリコンの育成方法 (2014)
  • 特開2008053589号 窒化インジウム(InN)あるいは高インジウム組成を有する窒化インジウムガリウム(InGaN)エピタキシャル薄膜の形成方法 (2008)
  • 特開2005274460号 近接場光学顕微鏡及びそれを用いた偏光評価方法 (2005)
  • 特開2005215200号 光集積回路の作製方法 (2005)

所属学会

応用物理学会 金属学会 日本電子顕微鏡学会 物理学会

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