α-Ga2O3/4H-SiC直接接合の作製と界面構造の評価
(Fabrication and Structural Characterization of α-Ga2O3/4H-SiC Direct Bonding)
第70回応用物理学会 春季学術講演会. 2023.
NIMS著者
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作成時刻: 2023-03-21 03:32:51 +0900更新時刻: 2023-03-21 03:32:51 +0900