HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] β-Ga2O3単結晶膜の製造方法、β―Ga2O3単結晶膜付きサファイア基板、β―Ga2O3自立単結晶及びその製造方法2015-10-01. WO2015147101 (Google Patents) NIMS著者ビジョラ ガルシア島村 清史大島 祐一作成時刻 :2023-07-22 21:45:51 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:51 +0900