N2-diluted H2 gas etching of (-102) β-Ga2O3 under atmospheric pressure
International Workshop on Gallium Oxide and Related Materials 2024 (IWGO2024). 2024年05月26日-2024年05月31日.
NIMS著者
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作成時刻: 2024-06-01 03:13:13 +0900 更新時刻: 2024-06-01 03:13:13 +0900