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N2-diluted H2 gas etching of (-102) β-Ga2O3 under atmospheric pressure

International Workshop on Gallium Oxide and Related Materials 2024 (IWGO2024). 2024年05月26日-2024年05月31日.

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    作成時刻: 2024-06-01 03:13:13 +0900更新時刻: 2024-06-01 03:13:13 +0900

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