研究内容
出版物2004年以降のNIMS所属における研究成果や出版物を表示しています。
論文
- Takayoshi Oshima. Self-aligned patterning on β-Ga2O3 substrates via backside-exposure photolithography. Japanese Journal of Applied Physics. 62 [1] (2023) 018004 10.35848/1347-4065/acb0b3
- Takayoshi Oshima, Yuichi Oshima. Selective area growth of β-Ga2O3 by HCl-based halide vapor phase epitaxy. Applied Physics Express. 15 [7] (2022) 075503 10.35848/1882-0786/ac75c8
口頭発表
- 大島 孝仁, 大島 祐一. (001)面β-Ga2O3基板に対する異方性HClガスエッチング. 2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会. 2023
- 大島 孝仁, 大島 祐一. (010)面β-Ga2O3基板に対する異方性HClガスエッチング. 2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会. 2023
- 高根 倫史, 大島 孝仁, 田中 勝久, 金子 健太郎. TiO2 (110)基板上のルチル型SnO2の選択成長. 2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会. 2023