HOME > Profile > OSHIMA, Takayoshi
Research
PublicationsNIMS affiliated publications since 2004.
Research papers
- Takayoshi Oshima, Yuichi Oshima. Plasma-free dry etching of (001) β-Ga2O3 substrates by HCl gas. Applied Physics Letters. 122 [16] (2023) 162102 10.1063/5.0138736
- Hitoshi Takane, Takayoshi Oshima, Katsuhisa Tanaka, Kentaro Kaneko. Growth dynamics of selective-area-grown rutile-type SnO2 on TiO2 (110) substrate. Applied Physics Express. 16 [4] (2023) 045503 10.35848/1882-0786/acc82b
- Takayoshi Oshima. Self-aligned patterning on β-Ga2O3 substrates via backside-exposure photolithography. Japanese Journal of Applied Physics. 62 [1] (2023) 018004 10.35848/1347-4065/acb0b3
Presentations
- 大島 孝仁, 大島 祐一. (001)面β-Ga2O3基板に対する異方性HClガスエッチング. 2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会. 2023
- 大島 孝仁, 大島 祐一. (010)面β-Ga2O3基板に対する異方性HClガスエッチング. 2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会. 2023
- 高根 倫史, 大島 孝仁, 田中 勝久, 金子 健太郎. TiO2 (110)基板上のルチル型SnO2の選択成長. 2023年 第70回応用物理学会春季学術講演会. 2023