Ultrahigh‐speed growth of GaN by hydride vapor phase epitaxy
(HVPE法によるGaNの超高速成長)
著者 | Takehiro Yoshida, Yuichi Oshima, Kazutoshi Watanabe, Tadayoshi Tsuchiya, Tomoyoshi Mishima. |
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掲載誌名 | physica status solidi c 8 [7-8] 2110-2112 ISSN: 18626351 |
出版社 | Wiley |
発表年 | 2011 |
言語 | English |
DOI | https://doi.org/10.1002/pssc.201000953 |
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