(-102)β-Ga2O3基板上のホモ・ヘテロエピタキシとプラズマフリー微細加工
(Homo- and hetero-epitaxial growth and plasma-free microfabrication on (-102) β-Ga2O3 substrates)
第53回結晶成長国内会議（JCCG-53）. 2024年11月18日-2024年11月20日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2024-11-29 03:18:04 +0900 更新時刻: 2024-11-29 03:18:04 +0900